吴鹏飞
- 作品数：5 被引量：6H指数：1
- 供职机构：电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室更多>>
- 相关领域：机械工程电子电信更多>>
- O型MEMS平面微弹簧弹性系数研究被引量：1
- 2011年
- 对封闭O型MEMS平面微弹簧建立力学分析模型,用卡氏第二定律和胡克定律推导出这种平面微弹簧弹性系数的计算公式,并用ANSYS进行有限元仿真,仿真结果表明,两者的相对误差低于2%。在计算公式和仿真的基础上,研究了各种结构参数对弹性系数的影响规律,结果表明,弹性系数随节数和弯半径的增大而减小,随梁宽和厚度的增大而增大。研究结果为其他封闭结构的MEMS平面微弹簧的分析和设计提供了一定的借鉴。
- 吴鹏飞张国俊钟志亲戴丽萍王姝娅
- 关键词：平面微弹簧
- 基于MEMS技术的SOI微加速度计的研究与设计
- MEMS技术是极具发展潜力的技术之一，是当前十分活跃的研究领域。MEMS技术广泛应用于诸多领域，包括国防、汽车工业和生物医学等。微加速度计是MEMS技术应用的一个重要领域，MEMS技术的最初成功和商业化的产品就是微加速度...
- 吴鹏飞
- 关键词：MEMS技术微加速度计有限元分析仿真计算
- 文献传递
- C型MEMS平面微弹簧弹性系数研究被引量：5
- 2012年
- 设计了一种新型的C型微机电系统(MEMS)平面微弹簧,用卡氏第二定律和胡克定律推导出这种平面微弹簧在3个方向(即x,y和z方向)上的弹性系数计算公式,用ANSYS进行有限元仿真,结果验证了公式推导的正确性。在公式计算和仿真的基础上,研究了各种结构参数对其弹性系数的影响规律。
- 吴鹏飞张国俊钟志亲戴丽萍王姝娅
- 关键词：平面微弹簧有限元方法
- 折叠式MEMS弹簧弹性系数研究与有限元分析
- 2011年
- 用卡氏第二定律和胡克定律推导出折叠式MEMS弹簧弹性系数的计算公式。ANSYS的仿真结果表明两者的相对误差低于1%。在计算公式和仿真的基础上,研究了各种结构参数对弹性系数的影响规律。最后对设计的弹簧质量块系统分别进行了模态分析和谐波响应分析。分析结果和理论一致。研究结果为其他结构的MEMS弹簧的分析和设计提供了一定的借鉴。
- 吴鹏飞张国俊戴丽萍钟志亲王姝娅
- 关键词：ELECTRONICSYSTEM有限元分析
- 非晶硅薄膜的LF-PECVD制备及椭偏表征被引量：1
- 2012年
- 以SiH4为先驱气体,采用低频等离子体增强化学气相沉积(LF-PECVD)方法在Si衬底上制备了氢化非晶硅(a-Si∶H)薄膜。在薄膜沉积过程中,工艺参数将会影响非晶硅薄膜的沉积速率和光学性能。通过反射式椭圆偏振光谱仪(SE)研究了SiH4气体流量、工作压强和衬底温度等条件对氢化非晶硅沉积速率和光学性质的影响。实验结果表明,氢化非晶硅沉积速率随着SiH4流量、工作压强和衬底温度的改变而规律地变化。相比于SiH4流量和工作压强,衬底温度对折射率、吸收系数和折射率的影响更大。各工艺条件下所制备的非晶硅薄膜光学禁带宽度在1.61～1.77eV。
- 钟志亲张国俊王姝娅戴丽萍吴鹏飞
- 关键词：PECVD氢化非晶硅椭偏测量沉积速率光学常数
