牟光远
- 作品数：4 被引量：6H指数：2
- 供职机构：长春理工大学光电工程学院更多>>
- 发文基金：广东省教育部产学研结合项目更多>>
- 相关领域：机械工程电子电信一般工业技术金属学及工艺更多>>
- 254nm低通滤光片的研制被引量：4
- 2010年
- 根据紫外光学系统的设计要求,在K9基底上研制了254 nm高反射率、可见光谱区高透过率的低通滤光片。根据膜系设计理论,通过针法优化,获得了干涉型低通滤光片的膜系;对电子束蒸镀HfO2和MgF2材料进行了研究,解决了材料喷溅的问题,减少了薄膜的吸收;采用考夫曼离子源,通过优化工艺参数,提高膜层致密性,解决了光谱曲线漂移的问题,改善了成膜质量。
- 张睿智付秀华牟光远唐吉龙
- 关键词：电子束蒸发
- φ64mm双非球面元件数控研抛技术研究
- 针对口径Φ64mm双凸非球面透镜/(曲率半径R/_1=549.5,K/_1=-1,R/_2=153.51,K/_2=-1,光学材料为k9/),进行了数控铣磨和抛光技术研究。在保证有较高面形精度和较好表面光洁度的同时,解决...
- 牟光远
- 关键词：面形精度去除函数
- 文献传递
- ZF6重火石玻璃非球面数控加工技术的研究
- 2009年
- 由于重火石玻璃的密度很大,材料较软,在数控加工过程中难以控制材料的去除量。现主要针对Φ62mm ZF6非球面凸透镜,对铣磨成型工艺、抛光工艺、抛光设备及抛光液等相关工艺参数进行了研究,采用弹性模预抛光与小抛头修正抛光相结合的两步研抛法对零件表面快速抛光,给出了一套规范的ZF6玻璃非球面的数控加工工艺,同时保证了零件具有较高的面形精度,实现了该非球面元件的快速批量生产。Φ62mm口径非球面最终面形精度达到0.5μm以下,表面光洁度达到Ⅲ级,明显改善成像质量,减少系统中光学零件数目,满足了非球面的使用要求。
- 苏佳妮付秀华李珊牟光远
- 关键词：非球面
- 中小口径双非球面数控抛光技术研究被引量：2
- 2009年
- 针对口径Φ62 mm双凸非球面透镜,进行了数控研磨和抛光技术研究。提出了规范性的加工工艺流程,实现了中小口径双非球面元件的高效、快速抛光。根据计算机控制光学表面成型技术,采用全口径抛光和小抛头修抛的两步抛光法,在抛光中对其面形误差进行多次反馈补偿,使被加工零件表面的面形精度逐步收敛。最终两面的面形精度均小于0.5μm,中心偏差小于0.01 mm,满足了光学系统中对非球面元件的精度要求,并且在保证有较高面形精度和较好表面光洁度的同时,解决了双非球面中心偏差和中心厚度难以控制的加工技术难题。
- 牟光远付秀华苏佳妮张睿智
- 关键词：非球面去除函数面形精度
