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张兴

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：浙江大学光电信息工程学系现代光学仪器国家重点实验室更多>>
发文基金：中央高校基本科研业务费专项资金浙江省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇原子层沉积
  • 1篇光学
  • 1篇光学特性
  • 1篇铱
  • 1篇IR

机构

  • 1篇浙江大学

作者

  • 1篇章岳光
  • 1篇沈伟东
  • 1篇袁文佳
  • 1篇李旸晖
  • 1篇刘旭
  • 1篇张兴
  • 1篇叶志杰

传媒

  • 1篇光学学报

年份

  • 1篇2014
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
原子层沉积制备铱薄膜的特性研究被引量：1
2014年
以乙酰丙酮铱[Ir(acac)3]和高纯氧为前驱体,采用原子层沉积(ALD)方法在基板温度为340℃的石英玻璃和硅基板上制备了金属铱薄膜。采用反射光谱测试仪、X射线电子能谱(XPS)、X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)等手段对不同厚度薄膜的微结构、表面形貌和光学性能进行了研究。结果表明,原子层沉积制备的Ir薄膜中元素纯度较高(大于95%),表面粗糙度低,并呈现多晶纳米颗粒。同时,Ir薄膜在紫外波段表现出较好的光学特性,可以用于制作Ir金属紫外光栅等光学器件。
叶志杰沈伟东章岳光张兴袁文佳李旸晖刘旭
关键词：原子层沉积光学特性
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