袁钰
- 作品数：9 被引量：13H指数：1
- 供职机构：合肥工业大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：机械工程自动化与计算机技术电子电信金属学及工艺更多>>
- 跨尺度二维工作台系统研制被引量：1
- 2015年
- 为实现大行程、纳米分辨力的定位目标,研制了跨尺度二维工作台系统。采用大行程宏动台和六自由度微动台组合的方式,搭建了宏/微双驱动高精度二维工作台系统。该系统利用机器视觉技术,采用图像处理方法确定系统中各个零件的位置和方向,宏动台高速移动实现粗定位,通过微动台与宏动台的循环配合工作,最终实现二维工作台系统的纳米级定位精度。实验结果表明,200mm×200mm二维工作台的定位精度在0.6μm左右,该工作台系统具备了大行程、定位时间快、智能化等优点。
- 袁钰卞亚魁陈晨
- 关键词：机器视觉
- 面向纳米定位的跨尺度二维工作台关键控制技术研究
- 随着科技飞速发展，测量领域中对测量精度的要求也在不断提高，传统仅靠一种方式进行驱动控制无法满足达到纳米级高定位精度的同时实现较大的运动范围。纳米级高精度定位与较大运动行程之间的矛盾逐渐显现出来。因此，开展大行程精密定位系...
- 袁钰
- 关键词：机器视觉技术
- 双端音叉三维谐振触发探头系统
- 本实用新型公开了一种双端音叉三维谐振触发探头系统，由支承架、转接件、双端音叉和光纤微探球构成。支承架用于固定整个测头机构。转接件分别固定于支承架下方的两端，用于连接支承架及双端音叉。双端音叉同时作为悬臂梁和微力传感器，其...
- 余惠娟黄强先袁钰赵晓萌卞亚魁
- 文献传递
- 具有角度补偿功能的大行程二维纳米工作台系统
- 本实用新型公开了一种具有角度补偿功能的大行程二维纳米工作台系统，采用基于压电陶瓷致动器和柔性铰链设计的六自由度微动工作台对大行程二维工作台进行直线定位及角度误差的综合补偿。本实用新型中，大行程二维工作台采用步进电机结合滚...
- 黄强先张昔峰袁钰韩彬胡小娟
- 文献传递
- 具有角度补偿功能的大行程二维纳米工作台系统
- 本发明公开了一种具有角度补偿功能的大行程二维纳米工作台系统，采用基于压电陶瓷致动器和柔性铰链设计的六自由度微动工作台对大行程二维工作台进行直线定位及角度误差的综合补偿。本发明中，大行程二维工作台采用步进电机结合滚珠丝杠的...
- 黄强先张昔峰袁钰韩彬胡小娟
- 文献传递
- 双端音叉三维谐振触发探头系统及其真三维测量方法
- 本发明公开了一种双端音叉三维谐振触发探头系统及其真三维测量方法，由支承架、转接件、双端音叉和光纤微探球构成。支承架用于固定整个测头机构。转接件分别固定于支承架下方的两端，用于连接支承架及双端音叉。双端音叉同时作为悬臂梁和...
- 余惠娟黄强先袁钰赵晓萌卞亚魁
- 文献传递
- 具有角度补偿功能的大行程二维纳米工作台系统
- 本发明公开了一种具有角度补偿功能的大行程二维纳米工作台系统，采用基于压电陶瓷致动器和柔性铰链设计的六自由度微动工作台对大行程二维工作台进行直线定位及角度误差的综合补偿。本发明中，大行程二维工作台采用步进电机结合滚珠丝杠的...
- 黄强先张昔峰袁钰韩彬胡小娟
- 文献传递
- 具有角度修正功能的大行程二维纳米工作台被引量：11
- 2013年
- 基于宏微组合驱动方式,提出一种具有角度修正功能的大行程二维纳米工作台设计方案来减小精密测量系统中由于工作台定位及角度误差引入的测量误差。首先,从原理上对设计方案进行了论证。该方案中宏动工作台和微动工作台共用位置反馈系统构成闭环控制,并基于压电陶瓷致动器及柔性铰链设计的六自由度微动工作台对宏动工作台进行直线定位误差及角度误差的综合补偿。然后,基于设计方案设计了宏动工作台及微动工作台的结构。最后,对安装调试后的宏微工作台系统进行了直线组合定位测试及角度误差修正测试。实验结果表明,该工作台系统的宏动行程达到了200mm×200mm;在闭环控制下,通过六自由度微动工作台的补偿作用可使各角度偏差由上百秒降至10″以内,由此工作台系统在全行程内的直线定位误差可由3μm降至25nm以内。实验结果验证了提出的组合定位系统的有效性。
- 张昔峰黄强先袁钰黄帅
- 双端音叉三维谐振触发探头系统及其真三维测量方法
- 本发明公开了一种双端音叉三维谐振触发探头系统及其真三维测量方法，由支承架、转接件、双端音叉和光纤微探球构成。支承架用于固定整个测头机构。转接件分别固定于支承架下方的两端，用于连接支承架及双端音叉。双端音叉同时作为悬臂梁和...
- 余惠娟黄强先袁钰赵晓萌卞亚魁
