刘学青
- 作品数：18 被引量：18H指数：3
- 供职机构：吉林大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金中国博士后科学基金吉林省教育厅科学技术研究项目更多>>
- 相关领域：电子电信理学文化科学一般工业技术更多>>
- 一种高效的硬脆材料的三维微加工方法
- 本发明公开了一种基于硬脆材料表面的高效的三维可设计结构的制备方法，属于激光微纳加工技术领域，本发明的方法先通过激光对晶体材料预去除体积的轮廓进行改性扫描，在后续的腐蚀过程中，预去除的体积会随之脱落，留下的部分即为设计的结...
- 孙洪波卢轶明刘学青陈岐岱
- 文献传递
- 一种基于纳秒激光及复合离子束蚀刻的CVD金刚石抛光方法
- 本发明公开了一种基于纳秒激光及复合离子束蚀刻的CVD金刚石抛光方法，属于材料表面抛光技术领域，包括：步骤一、金刚石样品的清理；步骤二、采用纳秒激光对样品进行抛光；步骤三、离子束蚀刻抛光样品：对激光抛光后的样品进行超声清洗...
- 陈岐岱冯昱森刘学青
- 一种集成型仿生复眼模板结构及其制备方法
- 本发明公开了一种集成型仿生复眼模板结构及其制备方法，属于激光微纳加工技术领域，利用飞秒激光提前在平面样品内部进行周期性均匀改性布点，再结合离子束一步成型的刻蚀过程，便可以非常简便的制备集成型仿生复眼模板结构。该方法采用飞...
- 刘学青祁金勇陈岐岱孙洪波
- 离子束刻蚀辅助飞秒激光加工制备碳化硅微光学元件被引量：5
- 2018年
- 为了解决飞秒激光加工硬质材料所带来的表面质量差的问题,提出了离子束刻蚀与飞秒激光复合加工技术.利用飞秒激光加工技术在碳化硅表面制备微纳结构图形,然后通过离子束刻蚀技术对碳化硅微纳结构进行刻蚀,以调控结构的线宽和深度,使结构表面粗糙度由约106nm降低到11.8nm.研究表明,利用该技术制备的碳化硅菲涅尔波带片展现出良好的聚焦和成像效果.
- 于磊杨双宁刘学青李德辉
- 关键词：超快激光离子束刻蚀碳化硅微光学元件
- 液体辅助激光加工硬脆材料及其应用被引量：2
- 2023年
- 硬脆材料由于具有稳定的机械和化学性能、优良的光电特性等优势,在航空航天、光电工业等领域具有广泛的应用。激光加工由于具有高精度、高能量、非接触式加工等特点,是实现硬脆材料加工的理想技术。为了实现硬脆材料的去除加工,通常需要较高的激光能量,使得加工的结构精度较低,而且表面质量较差。本综述介绍了液体辅助激光加工技术在硬脆材料加工方面的研究进展,分别介绍了液相激光烧蚀、激光诱导背部湿法刻蚀和刻蚀辅助激光改性等三种液体辅助激光加工技术的原理,对比了各自的优势和不足,以及不同加工技术、辅助液体种类以及加工参数等对不同硬脆材料加工质量的影响,介绍了液体辅助激光加工技术目前主要的应用,最后,简要阐述了该技术存在的问题和未来的潜在发展。
- 栾美玲郑家鑫孙相超刘学青
- 关键词：激光加工硬脆材料
- 一种硬脆材料高深宽比结构的加工方法及其在制备光学微纳结构方面的应用
- 本发明公开了一种硬脆材料高深宽比结构的加工方法及其在制备光学微纳结构方面的应用，属于激光微纳加工技术领域，本发明的方法先对待加工的硬脆材料表面引入一层牺牲层，再利用飞秒激光对其进行从内部到表面的激光改性扫描，并结合刻蚀工...
- 孙洪波刘学青郑家鑫陈岐岱
- 文献传递
- 飞秒激光制备硬脆材料红外微光学器件及应用(特邀)被引量：1
- 2024年
- 近年来,红外微光学器件由于在红外传感与成像、红外探测等领域中具有重要的应用价值而得到了飞速发展,直接在硬脆材料衬底上制备的红外微光学器件更是在苛刻环境应用领域中具有不可代替的作用。针对此需求,已经有研究人员提出了多种高精密制造方法。其中,飞秒激光加工由于真三维加工等独特优势已经被广泛应用于各种复杂三维微纳结构的制备,也为解决硬脆材料红外微光学器件的制备问题提供了新的思路。从飞秒激光加工技术、常用红外光学材料以及基于飞秒激光加工的硬脆材料红外微光学器件的制备和应用方面入手,梳理了近些年此领域的发展情况,重点介绍了折射器件和衍射器件等红外微光学器件以及飞秒激光加工技术在红外传感与成像、红外探测等领域中的应用,并对飞秒激光加工硬脆材料红外微光学器件的发展趋势进行了展望。
- 祁金勇郑家鑫张鑫赵智炎刘子健田克帅李超刘学青
- 关键词：硬脆材料
- 一种多材料面型可控毫米尺度透镜及其制备方法
- 本发明公开了一种多材料面型可控毫米尺度透镜及其制备方法，属于激光微纳加工技术领域，本发明采取两束离子束斜入射的方法轰击在硬质材料样品表面，样品被固定在样品托上以一定速度均匀旋转，刻蚀一段时间可以得到一个非常光滑的毫米尺度...
- 刘学青祁金勇陈岐岱孙洪波
- 飞秒激光制备耐高温蓝宝石内部几何相位波带片(特邀)被引量：1
- 2021年
- 针对晶体材料几何相位元件加工难、精度低、效果差等问题,提出了利用飞秒激光诱导纳米条纹技术来实现材料内部几何相位衍射元件的制备。飞秒激光近阈值加工方式有效的提升了加工精度,其精度为340 nm。通过实时调控扫描激光的偏振可以精准控制诱导纳米条纹的方向,进而改变晶体双折射效应的慢轴方向。基于该方法实现了蓝宝石内部几何相位波带片的有效制备,器件形貌良好、无裂纹,可用于高温环境下聚焦。
- 卢轶明高炳荣刘学青陈岐岱
- 关键词：微光学元件几何相位蓝宝石
- 飞秒激光辅助刻蚀制备蓝宝石光栅(特邀)被引量：1
- 2021年
- 利用飞秒激光辅助刻蚀技术,在蓝宝石表面实现了周期、占空比及高度可调的光栅结构。解决了飞秒激光加工硬脆材料时表面质量较差、碎屑堆积导致的加工精度降低和难以制备深结构的问题。蓝宝石光栅结构的粗糙度从78 nm(激光直写后)降低到了7 nm(干法刻蚀后),实现了周期为800 nm光栅,以及深宽比为4的蓝宝石微结构的制备。飞秒激光辅助刻蚀技术能够制备蓝宝石表面高平滑光栅,并对光栅各级次衍射效率进行提升。
- 郑家鑫高炳荣薛亚飞罗子艺韩善果刘学青陈岐岱
- 关键词：飞秒激光蓝宝石湿法刻蚀干法刻蚀光栅
