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秦健

作品数：14 被引量：9H指数：1
供职机构：清华大学更多>>
发文基金：国家重点基础研究发展计划国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信机械工程医药卫生一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 10篇专利
  • 2篇期刊文章
  • 2篇学位论文

领域

  • 3篇电子电信
  • 1篇机械工程
  • 1篇医药卫生
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 4篇生物医学
  • 4篇纳米
  • 4篇衬底
  • 2篇电动机
  • 2篇电化学
  • 2篇电化学检测
  • 2篇电极
  • 2篇电极尺寸
  • 2篇叠合
  • 2篇叠合结构
  • 2篇掩模
  • 2篇掩模板
  • 2篇原子
  • 2篇载物台
  • 2篇真空
  • 2篇生物样本
  • 2篇输运
  • 2篇双轴
  • 2篇倾角传感器
  • 2篇微电极

机构

  • 11篇清华大学
  • 5篇湖南大学
  • 1篇大连理工大学

作者

  • 14篇秦健
  • 10篇刘泽文
  • 5篇国石磊
  • 3篇司卫华
  • 2篇尹明
  • 2篇许先进
  • 2篇张家振
  • 2篇应花胡
  • 2篇何仁生
  • 2篇张晓
  • 2篇王子千
  • 1篇王太宏
  • 1篇田昊
  • 1篇钟艳

传媒

  • 1篇半导体技术
  • 1篇微纳电子技术

年份

  • 1篇2013
  • 3篇2012
  • 3篇2011
  • 1篇2010
  • 3篇2009
  • 2篇2008
  • 1篇2004
共 14 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种纳米制造系统
一种纳米制造系统，包括原子粒子产生系统，原子粒子产生系统与气源连通，原子粒子产生系统与原子输运系统相连，原子输运系统与真空工作室相连，真空工作室内设置有纳米孔阵列掩模板，纳米孔阵列掩模板边缘上方为光学对准系统，下方为纳米...
刘泽文尹明司卫华秦健
一种用于生物医学电化学检测的三维微电极及其制作方法
本发明提出一种用于生物医学电化学检测的三维微电极结构及其制作方法。利用微加工技术，在衬底表面制作牺牲层和具有一定内应力的双层金属结构，通过去除牺牲层，将制作于衬底表面的微电极金属释放，使其通过本身的内应力作用产生背离衬底...
刘泽文秦健国石磊
文献传递
一种用于生物医学流体的微型可逆密封结构和制作方法
公开了一种用于生物医学微流体的微型可逆密封结构，包括：第一衬底，在该第一衬底上设置有图案化的PDMS密封层；第二衬底，在该第二衬底上设置有流体控制和处理功能器件；并且所述第二衬底上设置的流体控制和处理功能器件通过所述PD...
刘泽文秦健王子千
文献传递
一种定量聚合酶链式反应检测装置及其制备方法
本发明涉及一种定量聚合酶链式反应测量装置，该装置中用于提供PCR反应所需温度的加热单元、用于加载及分配生物样品溶液使其与生物样本DNA发生PCR反应的微流体单元、用于采集DNA扩增产量的电信号的测量单元被集成为三个模块，...
刘泽文国石磊秦健
文献传递
自旋电子器件输运过程的研究
秦健
关键词：自旋电子学GREEN函数
一种定量聚合酶链式反应检测装置及其制备方法
本发明涉及一种定量聚合酶链式反应测量装置，该装置中用于提供PCR反应所需温度的加热单元、用于加载及分配生物样品溶液使其与生物样本DAN发生PCR反应的微流体单元、用于采集DAN扩增产量的电信号的测量单元被集成为三个模块，...
刘泽文国石磊秦健
文献传递
一种用于生物医学流体的微型可逆密封结构和制作方法
公开了一种用于生物医学微流体的微型可逆密封结构，包括：第一衬底，在该第一衬底上设置有图案化的PDMS密封层；第二衬底，在该第二衬底上设置有流体控制和处理功能器件；并且所述第二衬底上设置的流体控制和处理功能器件通过所述PD...
刘泽文秦健王子千
文献传递
水平调节装置
图2包含1)WQ90(2)型双轴倾角传感器，5)HB202M型混合型步进电动机细分驱动器，6)载物台，7)调节螺钉，8)57BYG型步进电动机。从图中知，倾角传感器是附在载物台下，且两者彼此牢固地粘合在一起。以下简要说明...
何仁生张家振张晓应花胡许先进秦健
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丙烯酸酯干膜光刻胶曝光特性及其应用被引量：8
2011年
对一种新型的丙烯酸酯干膜光刻胶(DFP)的曝光及显影特性进行了研究,采用该干胶制作出微沟道结构,进行微流道实验研究。在4英寸(1英寸=2.54cm)硅片上实现了厚度为50μm的干胶完好贴敷,从而解决了干胶在硅衬底上的贴敷问题。利用改变曝光时间设定曝光剂量梯度的方法,研究了干胶的曝光特性。采用不同质量分数的显影液,研究干胶的显影特性,获得了优化的结果。采用干胶系统进行了微流体沟道制作,得到了侧壁陡直的微沟道结构。实验发现,65mJ/cm2及以上的曝光剂量可使厚度为50μm的干膜光刻胶充分曝光并获得形貌效果良好的微结构,质量分数为5%的显影液具有最快的显影速度。
秦健刘泽文钟艳王太宏
关键词：显影
一种纳米制造系统
一种纳米制造系统，包括原子粒子产生系统，原子粒子产生系统与气源连通，原子粒子产生系统与原子输运系统相连，原子输运系统与真空工作室相连，真空工作室内设置有纳米孔阵列掩模板，纳米孔阵列掩模板边缘上方为光学对准系统，下方为纳米...
刘泽文尹明司卫华秦健
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