魏秀燕
- 作品数：3 被引量：4H指数：1
- 供职机构：厦门大学物理与机电工程学院更多>>
- 发文基金：福建省重大科技项目更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程更多>>
- 用于承载铷原子钟滤光泡的高品质微腔体制备被引量：3
- 2014年
- 在芯片级铷原子钟中,需要微腔体来承载Rb—87滤光泡,为此,提出了一种用于制作高品质微腔体的新技术。为了获得光滑的腔体侧面和避免腐蚀过程中凸角处产生削角现象,研究中采用了超声腐蚀技术和凸角补偿技术。首先,分别在纯KOH溶液,并结合搅拌和超声等方法,对(100)硅片进行湿法腐蚀,并运用激光共聚焦扫描显微镜对腐蚀后的{111}表面进行粗糙度测量,表明运用超声腐蚀技术可以获得光滑的{111}腔体侧面。在此基础上,引入条形掩模凸角补偿方法进行微腔体腐蚀。实验结果表明:在80℃、质量分数为30%KOH、超声频率和功率分别为59 kHz和160 W的溶液中腐蚀,其{111}腐蚀表面粗糙度为0.117μm,同时条形的长度取1200μm时,可以获得平滑规整的微腔体。
- 王婷婷曾毅波王盛贵魏秀燕毕瑞可郭航
- 关键词：激光共聚焦扫描显微镜凸角补偿
- 一种用于微小型铷原子频标的6.83 GHz谐振腔
- 2014年
- 研制了一种用于微小型铷原子频标的6.83 GHz微波谐振腔。对谐振腔内的电磁场、谐振频率与探针的关系进行了分析,并应用Ansoft HFSS软件进行填充介质的谐振腔进行了仿真分析。在此基础上对介质谐振腔进行设计与加工制造,测量出填充不同厚度的氧化铝陶瓷时谐振腔的谐振频率。结果表明,当矩形谐振腔取12 mm ×15 mm ×18 mm,填充5.66 mm厚的氧化铝陶瓷介质,介质谐振腔频率可达6.83 GHz,模式为TE101,谐振腔体积大幅减小至3.24 cm3, 是传统的未填充谐振腔体积的三分之一,同时电磁场分布均匀,适用于铷气室型微小型原子频标。
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- 关键词：微小型化
- 用于微型铷原子频标中6.835GHz微波器件的研究
- 铷气室型原子频标结构简单、体积小、重量轻,并且具有良好的稳定性,因此得到了广泛应用。近年来,由于MEMS技术的迅速发展,以及小型原子钟在实际应用上的优越性,实现铷原子频标的微小型化成为各国的主要研究热点。针对铷原子频标的...
- 魏秀燕
- 关键词：微制造介质谐振腔
- 文献传递
