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徐涌

作品数：1 被引量：7H指数：1
供职机构：华中科技大学微系统研究中心更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇微机电系统
  • 1篇机电系统
  • 1篇剪切应力
  • 1篇电系统

机构

  • 1篇华中科技大学

作者

  • 1篇易新建
  • 1篇汪殿民
  • 1篇朱福龙
  • 1篇陈四海
  • 1篇徐涌

传媒

  • 1篇传感器技术

年份

  • 1篇2005
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
微型柔性剪切应力传感器的制作研究被引量：7
2005年
利用微机电系统(MEMS)技术,制作了一种新型传感器阵列。首先,在刚性衬底上制作了一种8×8切应力传感器阵列,然后,利用硅岛阵列技术制作了一种柔性结构。试验结果表明:所制作的柔性传感器阵列经多次弯扭循环后,电阻值基本没有变化,柔性传感器在经过弯扭3300次后,传感器本身的柔性材料并没有断。
陈四海汪殿民朱福龙徐涌易新建
关键词：微机电系统
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共1页<1>
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