朱华铭
- 作品数：5 被引量：16H指数：2
- 供职机构：合肥工业大学更多>>
- 发文基金：中央高校基本科研业务费专项资金安徽省自然科学基金安徽省科技攻关计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 一种单片集成CMOS MEMS多层金属三轴电容式加速度传感器及制备方法
- 针对现有结构的电容式加速度传感器在结构上和制备工艺上的上述不足，本发明提供一种单片集成三轴加速度传感器及其制备方法。通过在Z轴向上淀积三层金属Al薄膜形成梳齿对敏感电极；在X轴向、Y轴向上淀积四层金属Al/SiO<Sub...
- 许高斌陈兴朱华铭段宝明
- 不等高梳齿电容式三轴MEMS加速度传感器被引量：9
- 2011年
- 利用ICP体硅深加工,本文设计分析了一种三轴三质量块的电容式加速度传感器。水平方向采用定齿偏置配置梳齿式,垂直方向采用不等高对称梳齿式;对称的布局方式,解决了各个轴向的相互干扰问题。利用有限元分析工具对设计进行模拟,证实了设计的合理性和可行性。X、Y轴向和Z轴向的灵敏度分别为1.2 fF/g和1.0 fF/g,量程为±50 g。
- 许高斌朱华铭陈兴
- 关键词：电容式加速度传感器MEMS
- 新型数字电容式液位传感器被引量：6
- 2011年
- 介绍了一种用于测量汽车油箱液位的技术,利用电容量随极板间介质变化的原理,以液晶显示的方式显示油箱剩余燃油量和箱内温度。用于信号采集的电容探头具有自动补偿功能,确保测量结果不受温度和杂质的影响。电容信号检测使用高集成的电容数字转换器,提高了测量精度。信号传输网络易于和车身网络系统集成,显示结果准确、实时。
- 李一方朱华铭童鑫
- 关键词：电容探头自动补偿
- 基于MEMS技术的三轴电容式加速度传感器研究
- 微机械加速度传感器以其体积小、易集成和功耗低等优点，在军用和民用设备上都有广阔的市场前景，而微电容式传感器更是由于其具有高灵敏度、低温度漂移等特点，得到越来越多的关注和研究。针对国内对微三轴电容式加速度传感器研究较少和产...
- 朱华铭
- 关键词：结构特征MEMS技术
- 一种单片集成CMOS MEMS多层金属三轴电容式加速度传感器及制备方法
- 针对现有结构的电容式加速度传感器在结构上和制备工艺上的上述不足，本发明提供一种单片集成三轴加速度传感器及其制备方法。通过在Z轴向上淀积三层金属Al薄膜形成梳齿对敏感电极；在X轴向、Y轴向上淀积四层金属Al/SiO<Sub...
- 许高斌陈兴朱华铭段宝明
- 文献传递
