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倪敏
作品数:
1
被引量:5
H指数:1
供职机构:
电子科技大学通信与信息工程学院光纤传感与通信教育部重点实验室
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发文基金:
中央高校基本科研业务费专项资金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
鲁恩
电子科技大学通信与信息工程学院...
饶云江
电子科技大学通信与信息工程学院...
冉曾令
电子科技大学通信与信息工程学院...
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压力传感器
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鲁恩
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激光与光电子...
年份
1篇
2011
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157nm激光微加工制作的微光纤压力传感器
被引量:5
2011年
为了提高微光纤压力传感器的制作效率,采用157nm激光加工的自封闭式法布里-珀罗腔,形成在线式全光纤压力传感器,包括微腔和一截短的单模光纤。跟踪压力传感器相位的变化可以获得压力大小。在0~60MPa的测量范围内,灵敏度达到0.01rad/MPa,长期稳定性达到±0.04MPa。所做的10个传感器样品,在60 MPa的测量范围内,灵敏度的冗余度达到±5%,可以规模化制造。这种传感器有望在航空航天、汽车工业和井下监测等领域发挥作用。
倪敏
冉曾令
鲁恩
饶云江
关键词:
光纤光学
压力传感器
激光加工
法布里-珀罗
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