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刘卫静

作品数：19 被引量：2H指数：1
供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
相关领域：理学机械工程电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 17篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 2篇机械工程
  • 2篇电子电信
  • 2篇理学

主题

  • 9篇激光
  • 7篇光强
  • 6篇激光器
  • 5篇光学
  • 4篇光强度
  • 4篇光束
  • 4篇光束特性
  • 4篇光学元件
  • 3篇视场
  • 3篇探测器
  • 3篇紫外
  • 3篇紫外激光
  • 3篇基片
  • 3篇光刻
  • 3篇光刻机
  • 3篇光谱
  • 3篇光强分布
  • 2篇电子设备
  • 2篇调谐
  • 2篇荧光

机构

  • 19篇中国科学院
  • 1篇中国科学院研...

作者

  • 19篇刘卫静
  • 9篇林妩媚
  • 9篇邢廷文
  • 8篇李斌成
  • 6篇廖志杰
  • 5篇曲哲超
  • 5篇韩艳玲
  • 3篇何毅
  • 1篇王艳茹
  • 1篇高卫东

传媒

  • 1篇激光与光电子...

年份

  • 2篇2022
  • 1篇2021
  • 3篇2019
  • 3篇2017
  • 4篇2015
  • 1篇2013
  • 4篇2012
  • 1篇2011
共 19 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种紫外级熔石英材料内羟基含量测量装置和方法
本发明公开了一种紫外级熔石英材料内羟基含量测量装置和方法，紫外级熔石英材料在深紫外激光照射下激发荧光，而荧光的强度与羟基含量有密切关系，利用该特性实现紫外级熔石英材料内羟基含量的测量，该装置结构简单，成本低，而且是非接触...
刘卫静李斌诚邢廷文林妩媚
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一种透过率测量准确性标定方法
本发明公开了一种透过率测量准确性标定方法，该方法用于光学元件透过率测量装置的透过率测量准确性标定中。根据光学元件基片透过率稳定的特点，测量光学元件单片及多片组合的透过率，通过比较多个基片的透过率测量值和单个基片测量结果计...
刘卫静廖志杰何毅林妩媚邢廷文
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一种光束偏振度测量装置和方法
本发明公开了一种光束偏振度测量装置和方法，该测量装置由光学元件基片，转台和两个光束强度探测器组成，光学元件位于转台上，待测光入射至光学元件基片上，通过转台调节光束入射角，测量光学元件在不同入射角时的反射和透射光强度，根据...
刘卫静李斌诚邢廷文林妩媚
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一种探测器线性度标定方法
本发明公开了一种探测器线性度标定方法，该方法用于探测器线性度标定中。利用多个透过率已知且相同的衰减片做光源能量衰减器，通过插入不同数量的衰减片，获得不同的衰减倍率，在不同衰减倍率下采集探测器的数值，绘制衰减倍率和探测器数...
刘卫静廖志杰何毅谢强
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一种高功率紫外激光器输出光束特性测试方法
本发明提供一种高功率紫外激光器输出光束特性测试方法，该方法利用紫外光学元件在紫外光照射下由于缺陷等的存在而产生荧光的特性，通过测量荧光强度分布及荧光强度与入射激光强度的关系计算得到紫外激光器输出光束分布特性。由于紫外光学...
李斌成刘卫静
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一种基于光腔衰荡光谱技术的可调谐激光器线宽测量方法
一种基于光腔衰荡光谱技术的可调谐激光器线宽测量方法，属于光电工程技术领域。其特征在于：被测可调谐激光束入射到两块平凹高反射镜组成的稳定谐振腔，腔内充有在可调谐激光器输出波段内有较强吸收谱线的气体。调谐激光器输出波长，使其...
李斌成曲哲超刘卫静韩艳玲
一种转盘式机械快门同步时序控制方法
一种转盘式机械快门同步时序控制方法，通过转盘式机械快门电信号控制信号发生器产生一定延时的激光器触发信号，实现激光器脉冲与转盘通光时间的完全同步。主要应用在高重复频率激光器单脉冲选取，使经过机械快门后的激光频率降低，在激光...
刘卫静李斌成韩艳玲曲哲超
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一种光强分布的建模方法、装置、电子设备及存储介质
本发明公开了一种光强分布的的建模方法，应用于光刻照明均匀性补偿技术领域，包括：获取输入参数，输入参数包括视场面的输入光强分布和补偿平面的光瞳能量分布，根据视场面的输入光强分布和补偿平面的光瞳能量分布，确定补偿平面的光强分...
何毅林妩媚廖志杰刘卫静邢廷文
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一种衍射光学元件衍射效率测量装置和方法
本发明公开了一种衍射光学元件衍射效率测量装置和方法，该方法用于衍射光学元件衍射效率测量。采用分光法测量衍射光学元件衍射效率，可以有效减小光源能量不稳定对测量结果的影响，测量过程中，利用小孔光阑挡住高衍射级光斑，可以有效提...
刘卫静廖志杰何毅谢强
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一种光刻机工件台探测器最佳高度确定方法
本发明公开了一种光刻机工件台探测器最佳高度确定方法，工件台携带光电探测器在特定光强位置处沿光轴方向进行光强度探测器，通过迭代查找光强极小值，对应位置即为探测器最佳高度。该方法通过控制工件台沿光轴方法上采样间隔，使测量精度...
刘卫静廖志杰邢廷文林妩媚
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