巩岩
- 作品数：232 被引量：537H指数：15
- 供职机构：中国科学院苏州生物医学工程技术研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家科技重大专项国际科技合作与交流专项项目更多>>
- 相关领域：机械工程理学电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 一种偏心差测量仪
- 本发明提供了一种偏心差测量仪，包括：光学照明模块、掩膜板、测量物镜模块、二级放大成像模块、探测器及转台，所述光学照明模块包括光源、第一反射镜及第二反射镜，所述测量物镜模块包括第三反射镜及第四反射镜，所述二级放大成像模块包...
- 巩岩陈洪福
- 文献传递
- 一种物镜加工装置
- 本发明涉及光学镜片制造技术领域，具体提供一种物镜加工装置，包括：机床，设在机床上的机床主轴；六轴并联位移台，固定在所述机床主轴上；所述六轴并联位移台供物镜安装；靶标，与所述六轴并联位移台相对分布；图像采集组件，用于采集所...
- 郎松巩岩胡慧杰张艳微王宏伟
- 光学元件X、Y、θ<Sub>Z</Sub>三自由度微动调整装置
- 光学元件X、Y、θ<Sub>Z</Sub>三自由度微动调整装置，属于光刻物镜结构设计与像差补偿领域，为解决光刻投影物镜光学元件X、Y、θ<Sub>Z</Sub>三自由度高精度调整问题，提出一种基于3-RRR平面机构的光学...
- 赵磊巩岩彭海峰于新峰
- 文献传递
- 光栅参数测量技术研究进展被引量：15
- 2011年
- 光栅参数测量技术是衡量光栅制作水平的重要标准。本文从直接测量法和间接测量法两个角度对现阶段较成熟的光栅参数测量技术进行了研究。重点介绍了原子力显微镜(AFM)测量法、扫描电子显微镜(SEM)测量法、激光衍射(LD)测量法以及散射测量术的测量原理和研究进展,指出了这些方法各自的优缺点和适用范围。AFM测量法和SEM测量法均可测得光栅的局部形貌信息,可用于检测光栅表面形貌缺陷;LD测量法和散射测量术反映的是激光照射区域的平均结果,其中LD测量法能得到光栅周期参数,而椭偏测量术能得到光栅周期以外的其他形貌参数。这些方法测得的光栅参数结果比较吻合,其中LD测量法不确定度最小,AFM次之,SEM最大。文章最后对未来光栅参数测量技术的发展方向进行了论述。
- 刘洪兴张巍巩岩
- 关键词：光栅原子力显微镜扫描电子显微镜椭偏仪
- 纳米颗粒成像自动对焦评价算法
- 2023年
- 纳米颗粒成像过程中,离焦位置的粒子团簇和大颗粒杂质产生明亮的弥散斑,导致现有的对焦算法无法实现自动对焦功能。利用基于大津算法的二值化分割和形态学开闭方法,使离散的弥散斑聚合为一个区域,并利用连通域标记方法筛选剔除大面积的光斑区域,构造四邻域水平-对角平方函数和阈值四邻域水平-对角开方函数,将函数分别作为粗对焦和精对焦的评价指标,提高了自动对焦搜索的准确性和可靠性。实拍离焦序列图,并与5种常用的评价算法进行对比,结果表明所提自动对焦评价算法具有良好的鲁棒性、无偏性和单峰性。
- 汪路涵巩岩张艳微高若谦郎松曹选
- 关键词：图像处理自动对焦连通域标记
- 线性渐变滤光片型多光谱成像光谱仪设计被引量：9
- 2016年
- 设计了一种基于线性渐变滤光片（LVF）的多光谱成像光谱仪。针对工作波段为600~1100 nm 的LVF，设计了一个宽光谱扫描型LVF 多光谱成像光谱仪的成像物镜，总长不超过85 mm，畸变小于0.01%，全视场各波段Nyquist频率下调制传递函数优于0.7，空间角分辨率可达1.02′。该多光谱成像光谱仪可以通过扫描和图像重构获得目标的准单色图像以及反射光谱。实验结果表明，该多光谱成像光谱仪的光谱分辨率与LVF 的光谱带宽相匹配，在600 nm处光谱分辨率可达9 nm。通过番茄成熟度辨别实验，验证了该多光谱成像光谱仪的成像性能。
- 王颖巩岩
- 关键词：光谱学光学设计
- 一种结构光照明模式切换装置
- 本发明公开了一种结构光照明模式切换装置，包括：空间滤波片和切换装置，其中，空间滤波片固定设置在光源的光束路径上，空间滤波片上开设有多个滤波孔；切换装置设置在空间滤波片远离光源的一侧，切换装置包括挡光结构和用于驱动挡光结构...
- 张艳微巩岩郎松郑汉青张志汪路涵
- Hartmann-Shack波前传感器的插值重构算法研究
- 为实现使用HartmannShaCk波前传感器对高分辨率物镜进行高精度检测，本文提出使用二维插值多项式替代Zernike多项式为重构基底对被测波前进行模式重构的方法.为了验证此方法的可行性，仿真高分辨率物镜设计波像差为...
- 李晶巩岩
- 关键词：SENSORSMODALWAVEFRONTZERNIKEPOLYNOMIALINSERTPOLYNOMIAL
- 大数值孔径显微物镜波像差测量系统和测量方法
- 本发明公开了一种大数值孔径显微物镜波像差测量系统和测量方法，该系统包括激光器、准直扩束系统、中性滤光片、旋转毛玻璃、第一分光镜、第二分光镜、波前传感器、聚光镜、光阑、光电倍增管、校准平面镜及盖玻片。本发明公开了一种非相干...
- 廖家胜巩岩张帅
- 光刻投影物镜中柔性多弹片支撑方式的性能分析被引量：5
- 2013年
- 大口径光学元件的支撑技术是精密光学仪器的关键技术之一,在精密光学仪器的光学元件支撑中,多弹片支撑因其能使光学元件均匀受力且能够较好的消除热像差而得到很多应用。本文针对一种L形多弹片光学元件支撑结构做了结构设计,并对通过相应的理论推导,得到其力学性能与主要几何参数的关系;以一种典型镜片为例,对镜片在三十六点支撑方式下发生的轴向位移和镜片面形的变化做了分析,得到了轴向位移和镜片面形与弹片的三个主要几何参数的关系。结果表明,在通光口径允许情况下,可以使支撑点距离中心的距离和弹片的宽度缩短以使镜片的面型变好。本文的研究结果为这种支撑结构的实际应用提供了支持和参考。
- 彭海峰巩岩赵磊
