徐冉冉
- 作品数：6 被引量：3H指数：1
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- 利用数字光刻系统制作铬掩模的工艺被引量：2
- 2010年
- 提出一种利用基于数字微反射镜装置(DMD)的数字光刻系统制作掩模版的方法。通过制图软件制作出二元光栅、菲涅耳波带片等衍射光学元件的掩模图,将这些图形导入数字光刻机,利用DMD系统的空间光调制特性,经精缩投影曝光,在覆胶铬板上刻蚀出相应的图案,经过腐蚀及去胶得到需要的掩模版。将制作好的掩模版用于精缩光学系统,可在晶圆片上得到亚微米结构的图案,达到高分辨率的要求。该方法是将传统的光刻工艺与DMD数字化虚拟掩模的特点相结合,相对于激光束直写法和粒子束刻蚀法,可以更方便、高效、低成本地获得掩模版。
- 颜丽华徐冉冉龚勇清
- 关键词：衍射光学光栅掩模版
- 数字光刻微雕的制作装置及其雕刻制作方法
- 本发明公开数字光刻微雕的制作装置及其雕刻制作方法，它采用DMD取代传统光刻技术中的固定的掩模版。由于DMD具有空间调制特性，能生成与原版字画等艺术品一致的图案或文字，再根据光刻镜头（缩微物镜）的光学成像原理，即可将整版图...
- 龚勇清苏兆国周张钰龚艺川田红彦高益庆罗宁宁方利华徐冉冉
- 文献传递
- 一种基于铬膜玻璃的光刻精缩系统的研究与实现
- 数字光刻技术是下一代光刻的先进代表。本文提出了一种利用DMD(数字微反射镜装置)进行数字掩模光刻成像，在铬膜玻璃上制作二元光学掩模。将设计好的CAD电脑图形文件，输出到基于DMD的数字掩模成像系统，经过曝光、显影、腐蚀及...
- 徐冉冉颜丽华龚勇清
- 关键词：DMD二元光学元件数字光刻
- 利用数字光刻系统制作掩模版的工艺研究
- 本文提出一种利用基于DMD(数字微反射镜装置)的数字光刻系统制作掩模版的方法。首先通过ATUOCAD制图软件制作出二元光栅、龙基光栅、达曼光栅以及菲涅耳波带片等衍射光学元件的掩模图，然后将这些图形导入数字光刻机，利用DM...
- 颜丽华徐冉冉龚勇清
- 关键词：掩模版衍射光学元件
- 基于铬膜玻璃的光刻精缩系统的研究与实现
- 2010年
- 文章提出了一种利用数字微反射镜进行数字掩模光刻成像,以铬膜玻璃为基板,在其上面制作二元光学掩模。将设计好的CAD电脑图形以后缀为bmp文件格式输出,导入到基于DMD的数字掩模成像系统,经过曝光、显影、定影、蚀刻及去胶工艺即可得到需要的掩模。此掩模可用于精缩投影系统,在晶圆片上得到比掩模图形小得多的图案,以达到高分辨率的要求。
- 徐冉冉颜丽华龚勇清
- 关键词：二元光学元件
- 投影光刻系统套刻对准技术的研究
- 现代光学和IC产业的发展要求光学器件的微型化、阵列化和集中化，从而产生了微光学技术。微光学技术是光学与微电子学、微机械学相结合渗透的一个学科，是研究亚微米级尺寸光学元件或光学系统的现代光学分支。
光刻技术是大规模...
- 徐冉冉
- 关键词：投影光刻系统对准标记二元光学元件
- 文献传递
