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焦永哲
作品数:
2
被引量:9
H指数:1
供职机构:
天津大学
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
理学
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合作作者
亢一澜
天津大学
张青川
中国科学技术大学工程科学学院中...
仇巍
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作者
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焦永哲
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实验力学
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2012
1篇
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MEMS薄膜基片中的工艺残余应力实验分析
工艺技术水平是目前制约大多数MEMS//NEMS设计、生产和应用的核心问题,其中工艺过程中对微器件施加的工艺应力以及工艺导致微器件的残余应力则是关系MEMS//NEMS制备成品率、稳定性、可靠性以及寿命的关键环节之一。对...
焦永哲
关键词:
X射线衍射
双材料
热氧化
文献传递
硅基底多层薄膜结构材料残余应力的微拉曼测试与分析
被引量:9
2012年
针对MEMS器件制备中两种典型的硅基底多层薄膜结构的残余应力问题,本文提出了利用微拉曼光谱技术测量其残余应力的方法,分析并给出了硅基底多层薄膜结构中的残余应力分布规律。实验结果表明,在硅基底和薄膜内存在较大的工艺残余应力,残余应力在基底内靠近薄膜两侧部分呈非线性变化,在基底内主要呈线性变化,并引起基底整体翘曲。基于实验结果分析,提出了硅基底多层薄膜结构的分层结构模型。本文工作表明微拉曼光谱技术是测量与研究硅基底多层薄膜结构残余应力的一种有力手段。
邓卫林
仇巍
焦永哲
张青川
亢一澜
关键词:
硅基底
残余应力
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