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邱自成

作品数：11 被引量：10H指数：1
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家科技重大专项更多>>
相关领域：理学机械工程电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 9篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇电子电信
  • 1篇理学

主题

  • 11篇光刻
  • 10篇投影物镜
  • 10篇物镜
  • 10篇光刻机
  • 7篇移相
  • 7篇像差
  • 5篇照明
  • 4篇数值孔径
  • 3篇掩模
  • 3篇照明光源
  • 3篇波像差
  • 2篇对称型
  • 2篇照明方式
  • 2篇相移掩模
  • 2篇工件台
  • 2篇光栅
  • 1篇衍射
  • 1篇时域有限
  • 1篇时域有限差分
  • 1篇时域有限差分...

机构

  • 11篇中国科学院上...
  • 1篇中国科学院研...
  • 1篇中国科学院大...

作者

  • 11篇邱自成
  • 10篇王向朝
  • 9篇袁琼雁
  • 5篇彭勃
  • 5篇曹宇婷
  • 4篇王渤帆
  • 2篇段立峰
  • 2篇毕群玉
  • 2篇黄炳杰

传媒

  • 1篇光学学报

年份

  • 3篇2011
  • 4篇2009
  • 4篇2008
共 11 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
基于二极照明的光刻机投影物镜奇像差的检测系统和方法
一种基于二极照明的光刻机投影物镜奇像差的检测系统和方法，本发明的特点是通过使用二极照明方式代替常规照明方式，优化了二极照明方式下作为检测标记的移相光栅的周期参数，利用该检测标记检测光刻机投影物镜的波像差，检测精度明显提高...
彭勃王向朝邱自成袁琼雁曹宇婷王渤帆
文献传递
非对称型移相光栅标记及在光刻机物镜像差检测中的应用
一种非对称型移相光栅标记及在光刻机物镜像差检测中的应用，所述标记由两组非对称型移相光栅组成，两组光栅的线条方向分别为90度和0度，所述标记为交替型移相光栅，光栅中两相邻透光区域的相位差为180度；移相光栅的线空比为1∶2...
邱自成王向朝袁琼雁
文献传递
非对称型移相光栅标记及在光刻机物镜像差检测中的应用
一种非对称型移相光栅标记及在光刻机物镜像差检测中的应用，所述标记由两组非对称型移相光栅组成，两组光栅的线条方向分别为90度和0度，所述标记为交替型移相光栅，光栅中两相邻透光区域的相位差为180度；移相光栅的线空比为1∶2...
邱自成王向朝袁琼雁
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基于平移对称移相光栅的光刻机投影物镜波像差检测方法
投影物镜系统是光刻机最重要的分系统之一,其球差和彗差是影响分辨率、套刻精度等光刻机性能指标的重要因素。快速、高精度的投影物镜波像差原位检测技术是保证光刻机性能的重要手段。TAMIS技术是一种国际上广泛用于检测投影物镜低阶...
邱自成王向朝袁琼雁彭勃
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极紫外投影光刻掩模衍射简化模型的研究被引量：10
2011年
建立一个计算极紫外投影光刻掩模衍射场的简化模型,在该简化模型中通过对入射光场进行追迹推导衍射场分布的解析表达式。简化模型中的掩模包括多层膜结构和吸收层结构两部分。多层膜结构的衍射近似为镜面反射。吸收层结构的衍射利用薄掩模修正模型进行分析,即将吸收层等效为位于某等效面上的薄掩模,引入边界点脉冲描述边界衍射效应,通过确定等效面的位置和边界点脉冲的振幅和相位,对经过吸收层的几何光波进行修正。吸收层结构的薄掩模修正模型能够用于计算斜入射角在12°范围内变化时,11nm及其以上节点的密集线条的衍射场。以计算6°角斜入射、22nm密集线条的掩模衍射场为例,该掩模简化模型与严格仿真计算结果相一致。
曹宇婷王向朝邱自成彭勃
关键词：衍射极紫外投影光刻时域有限差分算法
平移对称标记及光刻机投影物镜波像差原位检测方法
一种平移对称标记及光刻机投影物镜波像差原位检测方法，所述平移对称标记由X方向平移对称光栅标记和Y方向平移对称光栅标记组成，该平移对称型光栅标记的一个周期的结构是：每一个周期由平行的依次的无间隔排列的10个具有一定宽度的线...
邱自成王向朝袁琼雁毕群玉彭勃段立峰黄炳杰曹宇婷王渤帆
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光刻机投影物镜偶像差原位检测系统及检测方法
一种光刻机投影物镜偶像差原位检测系统及检测方法，所述系统包括光源、照明系统、测试掩模、掩模台、投影物镜、工件台、安装在所述工件台上的像传感装置、数据采集卡以及计算机。所述像传感装置包括孔径光阑、成像物镜、光电探测器。所述...
袁琼雁王向朝邱自成
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平移对称标记及光刻机投影物镜波像差原位检测方法
一种平移对称标记及光刻机投影物镜波像差原位检测方法，所述平移对称标记由X方向平移对称光栅标记和Y方向平移对称光栅标记组成，该平移对称型光栅标记的一个周期的结构是：每一个周期由平行的依次的无间隔排列的10个具有一定宽度的线...
邱自成王向朝袁琼雁毕群玉彭勃段立峰黄炳杰曹宇婷王渤帆
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光刻机投影物镜偶像差原位检测系统
一种光刻机投影物镜偶像差原位检测系统，所述系统包括光源、照明系统、测试掩模、掩模台、投影物镜、工件台、安装在所述工件台上的像传感装置、数据采集卡以及计算机。所述像传感装置包括孔径光阑、成像物镜、光电探测器。所述测试掩模包...
袁琼雁王向朝邱自成
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基于二极照明的光刻机投影物镜奇像差的检测系统和方法
一种基于二极照明的光刻机投影物镜奇像差的检测系统和方法，本发明的特点是通过使用二极照明方式代替常规照明方式，优化了二极照明方式下作为检测标记的移相光栅的周期参数，利用该检测标记检测光刻机投影物镜的波像差，检测精度明显提高...
彭勃王向朝邱自成袁琼雁曹宇婷王渤帆
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