赵萍
- 作品数：66 被引量：213H指数：8
- 供职机构：浙江工业大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金浙江省自然科学基金浙江省科技厅重点资助项目更多>>
- 相关领域：金属学及工艺机械工程一般工业技术化学工程更多>>
- 超精密平面抛光关键技术研发及产业应用
- 袁巨龙吕冰海邓乾发赵文宏赵萍陆惠宗陈明熊万里邓朝晖戴瑜兴彭光清葛莹莹许亮
- 高性能超精密平面零件是微电子系统、光电系统、精密仪器设备中的关键基础元件，其加工质量决定了光-机-电系统的整体性能。化学机械抛光(CMP)是获得超精密高性能平面的关键加工工序，但是传统CMP技术普遍存在：抛光易造成划痕表...
- 关键词：
- 关键词：抛光工艺精密仪器
- 一种基于螺旋运动方式的精密球体加工方法
- 一种基于螺旋运动方式的精密球体加工方法，先通过调整装置调整螺旋研磨槽柱组件的位置，将球坯放入固定研磨柱的工件收集孔中，球坯从固定研磨柱的工件收集孔下端进入螺旋研磨槽柱组件和固定研磨柱的竖直研磨槽之间的球加工区域，随着所述...
- 邓乾发吕冰海袁巨龙赵萍郭伟刚王加才
- 文献传递
- 一种轴偏心式变曲率沟槽加工高精度球体的装置
- 一种轴偏心式变曲率沟槽加工高精度球体的装置，包括机架、上研磨盘、下研磨盘和加载系统，上研磨盘连接上研磨盘主轴，下研磨盘连接下研磨盘主轴，上研磨盘主轴和下研磨盘主轴分别与驱动机构连接，上研磨盘位于下研磨盘的正上方，加载系统...
- 赵萍周芬芬袁巨龙李帆吕冰海邓乾发傅宣琪郭伟刚
- 文献传递
- 精密球新型研磨方式的仿真研究被引量：4
- 2005年
- 在精密球偏心V形槽研磨方式的基础上,提出一种新的研磨方式。运动分析结果表明,与偏心V形槽和传统V形槽研磨方式不同,该研磨方式下球坯的自转轴能够在180°范围内摆动,使研磨轨迹在球坯表面的分布更为均匀。通过仿真计算发现,在该研磨方式下偏心距对球坯表面研磨均匀性影响较小,并且,各槽内球坯所受研磨均匀性相同。
- 赵萍邓乾发王志伟吕冰海袁巨龙
- 高精度球体加工设备的球体输送机构
- 一种高精度球体加工设备的球体输送机构，包括支架、上自由滚道、下自由滚道、外侧螺旋滚道、芯轴和刮板，芯轴与用于带动芯轴转动的上料驱动机构连接，芯轴的外圈等圆弧间隔布置刮板，相邻刮板之间的间隙比待输送球体大，外侧螺旋滚道自上...
- 袁巨龙傅宣琪赵萍吕冰海周芬芬郭伟刚李帆
- 文献传递
- 用于功能陶瓷材料超精密平面加工的固结磨具的研究进展被引量：2
- 2019年
- 功能陶瓷是可实现某种功能的无机非金属材料。以平面为重要工作面的功能陶瓷零部件及产品因具有优良的综合性能而被广泛应用于医疗民生和国防军工等领域。为更好地满足产品的功能要求,平面的加工质量需达到形状精度亚微米级、表面粗糙度纳米级,甚至更高水平。因此,功能陶瓷平面迫切需要超精密加工。磨料加工是超精密加工的重要方式,包含固结磨料和游离磨料加工这两种互为补充的方式。固结磨料加工是否能够满足被加工工件的超精密要求,磨具至关重要。磨削时所采用的砂轮,固结磨料研磨、抛光时所采用的研磨垫和抛光垫,均为固结磨具。功能陶瓷具有稳定的物理化学综合特性,使得其被加工后可长期保持加工精度;同时,这也决定了功能陶瓷的加工有别于金属材料、有机材料以及工程陶瓷。用于功能陶瓷材料超精密平面加工的固结磨具有别于普通加工的固结磨具,亟需针对性的研究。决定固结磨具能否满足加工要求的因素主要包括:磨具制备时,作为固结磨具的主要原料、磨料和结合剂的合理选择或改性;磨具使用中,可能出现的磨料钝化以及磨具表面被磨屑堵塞的现象;磨具表面宏观形貌的优化与否。近年来,国内外研究人员从功能陶瓷材料的不同去除机理出发选择磨料,针对固结磨料超精密平面加工的不同方式选择或改性结合剂,通过在线修整、表面结构化的方法使磨具长时间保持高效高精度的加工性能。由此所制备或选用的磨具被成功应用于硅、锗、蓝宝石、碳化硅、微晶玻璃、三硼酸锂等功能陶瓷材料的平面加工,达到超精密加工水平,可以满足不同领域相关产品的功能要求。本文综述了功能陶瓷材料的固结磨料超精密平面加工用磨具的研究进展,分别从磨具原料的选择、磨具的应用、磨具的在线修整和表面的结构化进行介�
- 王洁赵萍吕冰海张韬杰黄晟杭伟袁巨龙
- 关键词：固结磨具功能陶瓷
- 一种应用于球体加工的循环送料装置
- 一种应用于球体加工的循环送料装置，包括机架、进球管道和出球管道，所述送料装置还包括输球机构和套筒，所述输球机构位于套筒内，所述套筒固定在所述机架上，所述输球机构与用于带动输球机构转动的驱动机构连接，所述输球机构的外壁上带...
- 袁巨龙余龙芬周芬芬赵萍张传通林益波
- 智能型纳米级超精密抛光机的研究被引量：2
- 2004年
- 研制了一种采用修正环在线修整抛光盘技术及专家数据库系统控制的智能型纳米级超精密抛光机,用于超精密平面抛光。文中介绍了其设计原理、运动模式、专家控制系统的设计与实现,加工结果表明,该型抛光机可将加工余量去除误差控制在1nm 以下,并获得表面粗糙度小于0.2nm 的平面。
- 赵萍袁巨龙
- 关键词：抛光专家数据库纳米
- 晶体取向对蓝宝石晶片抛光加工的影响研究被引量：1
- 2021年
- 目的对比分析不同晶向蓝宝石晶圆抛光结果,优化加工参数,探究晶体取向对抛光结果的影响规律。方法选取A、C面蓝宝石晶片(50.8 mm)为研究对象,采用控制变量法,分别以加工载荷(9.87、14.81、19.75 kPa)和抛光盘转速(20、40、60、80 r/min)为变量,以表面粗糙度Ra和材料去除率MRR为评价指标,对两种晶体取向的蓝宝石晶片进行抛光加工试验,借助3D表面轮廓仪与扫描电子显微镜SEM,对加工前后蓝宝石晶片的表面形貌进行对比,并根据试验结果优化加工参数。结果A、C面蓝宝石晶片的表面粗糙度与材料去除率,随时间均表现出先快速下降,然后逐渐变缓,最后趋于稳定的趋势。当选取转速60 r/min、载荷14.81 kPa的参数组合时,两种晶片获得目标最小粗糙度和最大材料去除率,最终得到A面Ra=24.874 nm,MRR=3.715 nm/min,C面Ra=2.763 nm,MRR=7.647 nm/min,C面材料去除率为A面的2.1~2.5倍。结论蓝宝石晶体取向作用对材料加工结果存在显著影响,在相同的加工条件下,相较于A面蓝宝石,C面蓝宝石更容易获得纳米级的表面质量和更高的材料去除率,即C面更易加工。
- 曹霖霖郭路广袁巨龙张翔吕冰海马毅杭伟赵萍
- 关键词：晶体取向蓝宝石抛光表面粗糙度材料去除率
- 单晶蓝宝石的延性研磨加工被引量：10
- 2012年
- 为实现单晶蓝宝石的延性研磨加工,采用纳米压痕和划痕法测试并分析了单晶蓝宝石(0001)面的微纳力学特性,建立了单颗圆锥状磨粒的压入模型并计算了延性研磨加工的受力临界条件,分析了金刚石磨粒嵌入合成锡研磨盘表面的效果。对单晶蓝宝石进行了延性研磨加工试验,采用NT9800白光干涉仪、扫描电子显微镜(SEM)和透射电子显微镜(TEM)等方法分析了单晶蓝宝石的延性研磨表面特征。试验结果表明:采用纳米压痕和划痕法可以为单晶蓝宝石的延性研磨加工提供工艺参数,单晶蓝宝石的延性堆积的极限深度为100nm,金刚石磨粒的嵌入及在适当载荷下可以实现蓝宝石的延性研磨加工,实验条件下的最佳载荷为21kPa,延性研磨后单晶蓝宝石表面划痕深度的分布情况较好,分散性小,研磨后的表面发生了位错滑移变形。
- 戴欣平戴欣平赵萍
- 关键词：金刚石磨粒纳米压痕法
