毕晓猛
- 作品数:3 被引量:2H指数:1
- 供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金江苏省科技支撑计划项目更多>>
- 相关领域:自动化与计算机技术更多>>
- 基于声消逝场耦合的回音壁式传感器
- 基于声消逝场耦合的回音壁传感器涉及一种用于生物检测的声波生物传感器,该传感器包括:薄膜结构、薄壁圆管谐振腔、支撑装置和激发接收装置;所述支撑装置支撑薄壁圆管谐振腔,共同激发回音壁模式的薄壁圆管谐振腔与薄膜结构之间距离可调...
- 吴一辉李峰刘军毕晓猛
- 文献传递
- 基于声消逝场耦合的回音壁式传感器
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- Love波传感器的性能分析与实验被引量:2
- 2011年
- 为了制作高灵敏度Love波传感器,分析了Love波在ST-石英和二氧化硅薄膜分层结构中的传播特性,并对该分层结构进行了相关的理论推导和计算。首先,从声学动力学方程出发,分析求解了该分层结构的波动方程,得到了在该分层结构的色散关系及位移表达式。基于得到的解析表达式分析了波结构,绘制了特性曲线,得到了Love波在该结构中的传播特性。最后,应用MEMS工艺制作了由ST-石英为基底、二氧化硅为波导层的Love波传感器,并通过电化学微电铸的方法进行了实验验证,且对理论灵敏度与实验灵敏度之间不一致的原因进行了分析。测试数据显示,该传感器的质量灵敏度为100cm2/g,最低检出限为3.65ng,结果证明了该Love波传感器基本满足高灵敏度生化检测的要求。
- 苗圃李锋张平刘永顺毕晓猛吴一辉
- 关键词:LOVE波传感器色散曲线循环伏安法