李永宽
- 作品数：3 被引量：18H指数：2
- 供职机构：东北大学机械工程与自动化学院更多>>
- 发文基金：中央高校基本科研业务费专项资金国家教育部博士点基金教育部留学回国人员科研启动基金更多>>
- 相关领域：电子电信理学一般工业技术更多>>
- 微悬臂梁动态特性表征用真空系统的仿真研究被引量：1
- 2012年
- 本文研究了用于表征微悬臂梁动态特性的高真空系统,研究了用于夹持微悬臂器件的样品台和用于调节真空室内压力的精密可调漏气阀。该阀在不同压力区间下采取机械机构和压电陶瓷驱动器改变阀门开度,具有精度高、适用范围广等优点,利于实验研究和工程测试。模拟分析结果表明该阀能精确调节10-6Pa^103Pa内压力。系统设置了减振支架和底座,用波纹管连接真空室和抽气系统,对系统振动信号的模拟计算表明所用减振支架和底座能够减小杂质振动信号对微悬臂梁动态特性测定的干扰。采用一般商用漏气阀控压,对微悬臂梁品质因数的测定实验结果表明了表征系统及精密阀的实用前景。
- 李建昌李永宽巴德纯
- 关键词：微悬臂梁真空系统压电陶瓷
- 退火温度对Li掺杂ZnO薄膜光电特性的影响被引量：2
- 2012年
- 采用溶胶凝胶法旋涂制备了摩尔分数为3%的Li掺杂ZnO薄膜,在450~650℃下退火后测试其微结构、表面形貌和光电特性.结果表明薄膜为六方纤锌矿多晶结构且n型导电,退火温度的升高改善了结晶度、表面形貌、透过率和导电性.退火温度超过550℃后电阻率增大,样品由肖特基导电转变为欧姆导电;伏安特性模拟结果表明,替位Li逐渐增多、薄膜功函数增大,有利于制备p型薄膜.退火温度达600℃后,由于薄膜再蒸发等使光电特性变差.550℃是最佳退火温度,适于制备高质量的透明导电薄膜,此时薄膜透过率达95%,薄膜电阻率为2.49×103Ω.cm.
- 李建昌李永宽姜永辉巴德纯
- 关键词：溶胶凝胶法ZNO薄膜退火温度光电特性
- 半导体电学特性四探针测试技术的研究现状被引量：15
- 2011年
- 四探针法是材料学及半导体行业电学表征较常用的方法,其原理简单,能消除接触电阻影响,具有较高的测试精度。由厚块原理和薄层原理推导出计算公式,并经厚度、边缘效应和测试温度的修正即可得到精确测量值。据测试结构不同,四探针法可分为直线形、方形、范德堡和改进四探针法,其中直线四探针法最为常用,方形四探针多用于微区电阻测量。本文综述了四探针测试技术的基本理论,包括四探针法的分类、原理和修正,并阐述了四探针测试技术在微观领域的发展。
- 李建昌王永王丹李永宽巴德纯
- 关键词：电阻率
