姜建英
- 作品数：8 被引量：7H指数：1
- 供职机构：电子科技大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信一般工业技术理学更多>>
- 一种La<Sub>3</Sub>Ga<Sub>5</Sub>SiO<Sub>14</Sub>薄膜的制备方法
- 一种La<Sub>3</Sub>Ga<Sub>5</Sub>SiO<Sub>14</Sub>薄膜的制备方法，属于薄膜材料制备领域。包括以下步骤：1)以硝酸镓、硝酸镧作为前驱物，硅酸四乙酯提供硅源，柠檬酸作为螯合剂，乙醇作...
- 彭斌邓言文张万里张文旭王睿姜建英
- 一种氮化铝薄膜的中频磁控反应溅射方法
- 本发明涉及压电薄膜制造领域,尤其涉及一种氮化铝薄膜的中频磁控反应溅射方法。本发明的沉积薄膜过程：首先向真空腔体内同时通入高纯氩气和高纯氮气，并使其中氮气的含量保持在20％～30％，待辉光稳定后开始溅射沉积氮化铝薄膜；然后...
- 彭斌姜建英张万里张文旭王睿邓言文
- 文献传递
- 兰姆波型谐振器的制备与测试
- 2016年
- 采用磁控溅射、光刻、腐蚀、电子束蒸发等工艺,在AlN薄膜表面设计和制备了兰姆波(Lamb)型谐振器。研究了Lamb谐振器频率特性与频率-温度特性,并与传统的瑞利波(Rayleigh)型谐振器进行对比。测试结果表明,Rayleigh谐振器的谐振频率为305.15 MHz,温度灵敏度为10.74kHz/℃;而Lamb谐振器有7个谐振频率,分别为294.630MHz,398.125MHz,435.625MHz,482MHz,531.625MHz,570MHz和613.625MHz,其温度灵敏度分别为10.63kHz/℃,13.46kHz/℃,16.09kHz/℃,17.51kHz/℃,18.95kHz/℃,20.76kHz/℃和21.86kHz/℃。结果表明,兰姆波型谐振器高阶模式的温度灵敏度最高,达到21.86kHz/℃。
- 邓言文彭斌张万里陈鹏王睿姜建英
- 关键词：谐振频率温度特性ALN薄膜
- 高温镍基合金衬底上制备C轴取向AlN薄膜研究
- 近年来，柔性声表面波（SAW）传感器以其独特的优势以及潜在的应用价值已经在各个领域得到了广泛的应用。在这些柔性SAW器件中，C轴择优取向的氮化铝薄膜（AlN）以其良好物理化学特性成为首选的压电材料。但目前为止的绝大多数研...
- 姜建英
- 关键词：高温镍基合金氮化铝薄膜中频磁控溅射C轴取向
- 谐振型SAW无线无源传感器的测试系统研究被引量：7
- 2016年
- 采用一种低成本、高效率的电路系统实现对谐振型无线无源声表面波(SAW)传感器的测试。该电路利用直接数字频率合成(DDS)技术产生不同频率的射频信号用以激励SAW传感器。在接收端采用功率探测器检测回波信号的包络,通过包络的变化得到待测物理化学参量的变化。该测试系统产生的激励信号功率最高可达10dBm,测试时间约为0.5s,与矢网测试结果相比,其测试相对误差仅为0.002 4%。实验结果表明,该系统能够稳定、可靠地实现谐振型SAW传感器的快速检测。
- 王睿张万里彭斌邓森洋邓言文姜建英
- 关键词：无线无源直接数字频率合成
- 一种La<Sub>3</Sub>Ga<Sub>5</Sub>SiO<Sub>14</Sub>薄膜的制备方法
- 一种La<Sub>3</Sub>Ga<Sub>5</Sub>SiO<Sub>14</Sub>薄膜的制备方法，属于薄膜材料制备领域。包括以下步骤：1)以硝酸镓、硝酸镧作为前驱物，硅酸四乙酯提供硅源，柠檬酸作为螯合剂，乙醇作...
- 彭斌邓言文张万里张文旭王睿姜建英
- 文献传递
- 一种氮化铝薄膜的中频磁控反应溅射方法
- 本发明涉及压电薄膜制造领域,尤其涉及一种氮化铝薄膜的中频磁控反应溅射方法。本发明的沉积薄膜过程：首先向真空腔体内同时通入高纯氩气和高纯氮气，并使其中氮气的含量保持在20％～30％，待辉光稳定后开始溅射沉积氮化铝薄膜；然后...
- 彭斌姜建英张万里张文旭王睿邓言文
- 一种耐高温的柔性声表面波器件及其制造方法
- 本发明涉及声表面波器件制造领域，具体涉及一种耐高温的柔性声表面波器件的结构及其制造方法。其结构从下至上依次为：底层保护层、柔性合金衬底、缓冲层、压电薄膜、叉指电极和顶层保护层。柔性合金衬底采用高温柔性合金带材；缓冲层和底...
- 彭斌姜建英张万里张文旭王睿邓言文
- 文献传递
