韩熙
- 作品数：3 被引量：7H指数：1
- 供职机构：中国科学院兰州化学物理研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：机械工程更多>>
- Al-DLC薄膜结构及其在水介质下摩擦学性能研究被引量：7
- 2017年
- 采用磁控溅射技术,以Al为溅射靶材,甲烷为溅射气体,在不同射频功率下制备了一系列Al含量不同的类金刚石碳基薄膜(AL-DLC).分析了Al含量对薄膜成分、结构及机械性能的影响,并探讨了其在空气和水介质下的摩擦磨损行为.结果表明:Al掺杂使得薄膜中sp^3-C的生长受到抑制,sp^2-C增加,表面吸附水分子能力变强,在水介质摩擦过程中的剪切阻力变小,从而使得摩擦磨损减小.通过调整射频功率可以对薄膜中Al含量进行调控,在最优Al含量时,Al-DLC在空气和水介质中均具有优异的摩擦学性能.
- 韩熙郑建云张帅拓刘金玉郝俊英
- 关键词：类金刚石薄膜AL掺杂水介质
- 一种弹性润滑纳米碳环/无定型碳复合薄膜的制备方法
- 本发明公开了一种弹性润滑纳米碳环/无定型碳复合薄膜的制备方法，具体步骤为：对单晶硅片和不锈钢薄片进行等离子体溅射清洗；过渡层沉积，采用多功能复合磁控溅射溅射设备，沉积室内初始温度为25~35 ℃，靶材与基底间距设置为7~...
- 郝俊英韩熙郑建云
- 文献传递
- 一种弹性润滑纳米碳环/无定型碳复合薄膜的制备方法
- 本发明公开了一种弹性润滑纳米碳环/无定型碳复合薄膜的制备方法，具体步骤为：对单晶硅片和不锈钢薄片进行等离子体溅射清洗；过渡层沉积，采用多功能复合磁控溅射溅射设备，沉积室内初始温度为25~35℃，靶材与基底间距设置为7~1...
- 郝俊英韩熙郑建云
- 文献传递
