方华斌
- 作品数：19 被引量：56H指数：4
- 供职机构：霍尼韦尔国际公司更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信电气工程理学文化科学更多>>
- PZT厚膜压电悬臂梁结构的有限元分析
- 本文设计了一种硅微悬臂梁结构,在低频环境中以压电厚膜进行信号转换、谐振.使用有限元分析软件ANSYS对结构建模,并进行模态和谐响应分析.模拟分析的结果表明:通过制备添加金属质量块及选择合理的尺寸范围,结构固有频率可在10...
- 方华斌徐峥谊刘景全陈迪蔡炳初
- 关键词：低频谐振有限元分析电压输出PZT厚膜
- 文献传递
- 感测电流的装置和方法
- 本文描述了用于感测电流的装置和方法。一个装置(100)包括：基底构件(102)，其具有第一支腿(104，106)和第二支腿(104，106)，支腿(104，106)在其间限定一角度(108)；第一磁电流传感器(110，1...
- 茅昕辉方华斌
- 文献传递
- MEMS微拾振器制备工艺研究被引量：4
- 2006年
- 采用微机电系统(MEMS)技术制作了悬臂梁式压电微拾振器,该技术主要包括:sol-gel法制备PZT压电膜、干法刻蚀、湿法化学刻蚀、UV-LIGA等工艺。研制的拾振器悬臂梁结构尺寸为:长2000μm,宽600μm,硅膜厚度12μm,PZT压电膜厚1.5μm,Ni质量块长600μm、高500μm。测试表明其固有频率为610Hz,适合低频振动源环境的应用。在1gn加速度谐振激励下,电压输出达562mV。
- 方华斌刘景全董璐陈迪蔡炳初
- 关键词：电子技术微机电系统固有频率电压输出
- 感测电流的装置和方法
- 本文描述了用于感测电流的装置和方法。一个装置(100)包括：基底构件(102)，其具有第一支腿(104，106)和第二支腿(104，106)，支腿(104，106)在其间限定一角度(108)；第一磁电流传感器(110，1...
- 茅昕辉方华斌
- 文献传递
- 基于MEMS的压电微能量采集器的电路研究与测试被引量：10
- 2008年
- 微能量采集技术是利用某种效应把周围环境中的某种形式的能量转换成电能,为嵌入式系统和无线传感网络中的MEMS器件供能。本文探讨了一种基于MEMS技术的压电型微能量采集器。微能量采集器工作于低频环境,当给其振动激励信号时,它能够把机械能转换为电能。但是能量采集器直接输出的是交流电压,一般不能直接为器件供能。所以,利用AC-DC电路把交流转换为直流,实现为MEMS器件供能。文中给出了微能量采集器的测试电路,同时给出了测试结果,论证了在低频环境下这种微能量采集器的可行性。
- 沈修成方华斌王亚军刘景全
- 关键词：MEMS压电效应悬臂梁
- 用于传感器的磁芯
- 本申请涉及用于传感器的磁芯。该磁芯包括：第一芯段（405）；第二芯段（420）；其中第二芯段（420）沿着第一芯段（405）的内表面被接纳并可调整地邻接第一芯段（405）的内表面，以形成由第一芯段（405）和第二芯段（4...
- 方华斌贾存孝茅昕辉
- 文献传递
- 用于传感器的磁芯
- 由三个C形段(405、420、435)形成的磁芯，所述三个C形段限定用于接纳载流导体的第一窗口（450）以及用于使来自载流导体的磁通朝着磁通响应传感器（230、495）会聚的第二窗口（455）。磁芯可包括第一C形芯段（4...
- 方华斌贾存孝茅昕辉
- 文献传递
- 超厚SU-8负胶高深宽比结构及工艺研究被引量：21
- 2005年
- 采用新型SU-8光刻胶在UV-LIGA技术基础上制备了各种高深宽比MEMS微结构,研究了热处理和曝光两个重要因素对高深宽比微结构的影响,解决了微结构的开裂和倒塌等问题;优化了SU-8胶工艺,从而获得了最大深宽比为27:1的微结构。
- 张金娅陈迪朱军李建华方华斌杨斌
- 关键词：UV-LIGA技术SU-8胶
- 用于传感器的磁芯
- 由三个C形段(405、420、435)形成的磁芯，所述三个C形段限定用于接纳载流导体的第一窗口（450）以及用于使来自载流导体的磁通朝着磁通响应传感器（230、495）会聚的第二窗口（455）。磁芯可包括第一C形芯段（4...
- 方华斌贾存孝茅昕辉
- 文献传递
- 圆盘型非接触超声波马达定子的振动模拟与测试
- 2005年
- 介绍一种圆盘型非接触超声波马达的结构。利用有限元法计算了超声波马达定子在不同振动模态下的固有频率,并用激光测振仪对定子进行了测试,结果两者吻合较好。由于振幅和非接触马达的声辐射压力密切相关,因此通过谐响应分析计算了定子的振幅与定子驱动电压的关系,从而为马达的实验研究提供了理论依据。在最优模态B21下进行转子转速测试,测得最高转速为1600 rpm。
- 杨斌刘景全周广华陈迪方华斌蔡炳初
- 关键词：有限元模拟振型振幅
