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基于正交试验的碲锌镉晶片CMP参数优化及抛光机制分析被引量：1: 2022年; 碲锌镉(CZT)晶片是目前制造室温下高能射线探测器最理想的半导体材料,获得高质量的CZT晶片对探测性能的提高具有十分重要的意义。基于化学机械抛光(CMP)工艺,采用绿色环保的抛光液配方,设计并进行磨粒粒径、磨粒质量分数、抛光液pH值和抛光压力的4因素3水平正交CMP试验,实现200μm×200μm范围内平均粗糙度最低为0.289 nm的CMP加工。对试验结果进行均值和极差分析,探究各因素在CMP加工中的作用规律,得出pH值和磨粒质量分数对CZT晶体的CMP加工精度和去除速率影响较大,且较强的酸性条件和较大的磨粒质量分数分别有利于提高CZT晶体的化学溶解作用和机械磨削作用的结论,提出针对CZT晶片的CMP优化加工方案。通过X射线光电子能谱(XPS)表征,探究对抛光性能影响作用最大的酸度在CMP加工中所起到的化学腐蚀作用,揭示CZT晶体在CMP过程中“氧化剂氧化-酸根离子刻蚀-络合物螯合-磨粒磨削”的材料去除机制。; 张乐振张振宇王冬徐光宏郜培丽孟凡宁赵子锋; 关键词：化学机械抛光正交试验抛光液

透射电子显微镜可控气氛原位样品杆气体密封性能分析被引量：1: 2021年; 面向国内高端科研仪器设备研发需求,针对现有透射电子显微镜样品杆不能够传递易氧化、易潮解、易污染样品的难题,设计了一种可控气氛原位样品杆。为保证原位样品杆气氛可控的稳定性,建立了负压条件下的无润滑半接触式端面O圈密封和内部旋转O圈密封有限元模型,分析密封结构的可靠性,并进行了实验验证。结果表明:采用本文中可控气氛原位样品杆密封结构设计,真空密封时间超过1 h以上,能够满足设计要求。有限元模型计算泄漏率与实际实验测得泄漏率一致性良好,有限元模型可靠。; 王冬张振宇王林海孟凡宁刘冬冬; 关键词：透射电子显微镜干气密封有限元分析

皮秒激光参数对仿生跨尺度乳突织构表面润湿性的影响被引量：4: 2021年; 无修饰的金属疏水表面受到广泛关注,尤其是具有超高疏水性表面的制备方法逐渐被重视。通过皮秒激光烧蚀、电化学抛光和电化学沉积的顺序加工方法在铜表面制备一系列具有不同微观特征的乳突织构。系统研究激光功率、重复频率、扫描速度和扫描次数对乳突织构表面形貌及疏水性的影响,并分析表面润湿性的转化机理。研究结果表明,激光功率9 W、重复频率2 MHz、扫描速度200 mm/s、扫描次数20次时,跨尺度乳突织构表面静置30 d后可获得超高疏水性(接触角161°,滚动角1°)。储存30 d后,亲水性的Ni、CuO转化为疏水性的NiO、Ni(OH)_(2)、Cu_(2)O,以及含C有机物的吸附促成了乳突织构表面润湿性的转化。; 王冬张振宇张朝阳顾秦铭孟凡宁; 关键词：皮秒激光超疏水

一体式栅格准直器线切割加工技术被引量：1: 2015年; 一体式栅格准直器作为天文望远镜卫星上的有效载荷零件,其制造精度直接影响卫星的探测性能。本文对一体式栅格准直器的结构特性和材料特性展开分析,并对其加工方法和测量方法进行了研究。; 杨三强王冬陆国栋王磊; 关键词：准直器一体式栅格线切割天文望远镜有效载荷

FPGA静态时序约束方法分析被引量：4: 2017年; 采用良好的时序约束方法,使FPGA的静态时序分析结果更接近实际电路。文中简述了FPGA静态时序分析(STA)中时序约束的基本概念,重点针对时序分析中群组定义、时钟域、端口信号等关键时序问题给出了时序约束方法,并通过实例演示进行了说明。; 王冬; 关键词：静态时序分析 FPGA

绿色环保化学机械抛光液的研究进展被引量：12: 2021年; 原子级加工制造是实现半导体晶圆原子尺度超光滑表面的有效途径.作为大尺寸高精密功能材料的原子级表面制造的重要加工手段之一,化学机械抛光(chemical mechanical polishing,CMP)凭借化学腐蚀和机械磨削的耦合协同作用,成为实现先进材料或器件超光滑无损伤表面平坦化加工的关键技术,在航空、航天、微电子等众多领域得到了广泛应用.然而,为了实现原子层级超滑表面的制备,CMP工艺中常采用的化学腐蚀和机械磨削方法需要使用具有强烈腐蚀性和高毒性的危险化学品,对生态系统产生了不可逆转的危害.因此,本文以绿色环保高性能抛光液作为对象,对加工原子量级表面所采用的化学添加剂进行分类总结,详尽分析在CMP过程中化学添加剂对材料表面性质调制的作用机理,为在原子级尺度下改善表面性质提供可参考的依据.最后,提出了CMP抛光液在原子级加工研究中面临的挑战,并对未来抛光液发展方向作出了展望,这对原子尺度表面精度的进一步提升具有深远的现实意义.; 郜培丽张振宇王冬张乐振徐光宏孟凡宁谢文祥毕胜; 关键词：化学机械抛光绿色环保

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王冬