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王金国

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院物理研究所更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇等离子体
  • 1篇溅射
  • 1篇反应溅射
  • 1篇OES

机构

  • 1篇中国科学院

作者

  • 1篇王荣瑶
  • 1篇康宁
  • 1篇赵菁
  • 1篇徐积仁
  • 1篇王金国

传媒

  • 1篇量子电子学

年份

  • 1篇1996
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
氮碳薄膜反应溅射沉积过程的OES诊断
1996年
氮碳薄膜反应溅射沉积过程的ＯＥＳ诊断赵菁，王金国，康宁，王荣瑶，徐积仁（中国科学院物理研究所光物理实验室北京１０００８０）等离子体光发射谱（ＯＥＳ）作为一种实验的手段常用于等离子体薄膜沉积过程中气相物种及化学反应过程的诊断，它有助于对薄膜生长机理的了...
赵菁王金国康宁王荣瑶徐积仁
关键词：等离子体OES
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共1页<1>
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