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无铁心永磁直线同步电机的研究: 无铁心永磁直线同步电机因其具有高速度、高加速度、精确定位等优越性能，广泛用于精密加工机床等领域。本文将围绕IC装备制造领域所面临的实际问题，开展用于扫描的高加速度高精度的宏动直线电机的研究工作。　　本文分析了无铁心永磁　...; 唐勇斌; 关键词：磁路结构水冷却系统; 文献传递

超精密直线电机的冷却结构: 超精密直线电机的冷却结构，属于直线电机技术领域。它解决了现有直线电机的双边表贴式冷却结构的侧面温升高，易与环境产生热交换的问题。它包括绕组支撑部和绕组，绕组固定在绕组支撑部表面，它还包括导热部，该导热部设置在绕组的外侧表...; 李立毅潘东华熊思亚周悦唐勇斌陈启明郭庆波; 文献传递

精密运动平台用永磁直线同步电机的磁场分析与电磁力研究: 永磁直线同步电机（Permanent Magnet Linear Synchronous Motor，PMLSM）具有推力密度高、响应速度快；可靠性好、效率高；可控性好、精度高等显著优点，广泛应用在精密运动平台中，实现高...; 唐勇斌; 关键词：永磁直线同步电机端部效应电磁力推力波动多种群遗传算法; 文献传递

直线电机力特性测试方法: 直线电机力特性测试方法。它涉及电机测试技术领域，并针对目前各种直线电机测试装置存在的主要问题。拉压力传感器用于测试被测直线电机的输出力，还用于测试施加于被测直线电机的动子上的力；滚珠丝杠用于将加载伺服电机的回转运动转化为...; 寇宝泉白相林刘孝坤唐勇斌; 文献传递

带冷却结构的无铁心永磁直线电机及其绕组线圈的制作模具与绕组线圈加工工艺: 带冷却结构的无铁心永磁直线电机及其绕组线圈的制作模具与绕组线圈加工工艺，属于直线电机技术领域。它解决了无铁心永磁直线电机的散热问题。带冷却结构的无铁心永磁直线电机，它的定子呈镜像对称设置在动子的两侧，动子包括电枢绕组和冷...; 李立毅唐勇斌潘东华寇宝泉; 文献传递

带气浮导轨的永磁直线同步电机: 带气浮导轨的永磁直线同步电机，属于直线电机技术领域。它解决了现有永磁直线同步电机存在的单边法向吸引力没有被有效的利用的问题。本发明所述带气浮导轨的永磁直线同步电机，它包括电机底座、动子和定子，它还包括一对气浮导轨、四个缓...; 李立毅唐勇斌潘东华寇宝泉

直线电机力特性测试装置及测试方法: 直线电机力特性测试装置及测试方法。它涉及电机测试技术领域，并针对目前各种直线电机测试装置存在的主要问题。拉压力传感器用于测试被测直线电机的输出力，还用于测试施加于被测直线电机的动子上的力；滚珠丝杠用于将加载伺服电机的回转...; 寇宝泉白相林刘孝坤唐勇斌

带冷却结构的无铁心永磁直线电机及其绕组线圈的制作模具与绕组线圈加工工艺: 带冷却结构的无铁心永磁直线电机及其绕组线圈的制作模具与绕组线圈加工工艺，属于直线电机技术领域。它解决了无铁心永磁直线电机的散热问题。带冷却结构的无铁心永磁直线电机，它的定子呈镜像对称设置在动子的两侧，动子包括电枢绕组和冷...; 李立毅唐勇斌潘东华寇宝泉

多种群遗传算法在无铁心永磁直线同步电机优化设计中的应用被引量：75: 2013年; 为了同时实现应用于步进扫描投影光刻机中的长行程直线电机的高推力密度、低推力波动和低铜损耗,提出了基于多种群遗传算法(multiple population genetic algorithm,MPGA)的环形绕组形式无铁心永磁直线同步电机(air-corepermanent magnet linear synchronous motor,ACPMLSM)多目标优化设计方法。在建立磁场分析模型的基础上,推导了关键参数的解析表达式。以永磁体、环形绕组的尺寸为变量,以推力体积比、电机常数和推力波动为优化目标,提出了基于权重系数的多目标优化函数,应用搜索能力强、收敛速度快的多种群遗传算法优化电机的结构尺寸。结果表明,在不同的权重系数下,MPGA得到的电机优化设计结果与设计目标具有良好的一致性。有限元仿真和实验结果证明了所提方法的有效性和可行性。; 李立毅唐勇斌刘家曦潘东华; 关键词：光刻机环形绕组无铁心永磁直线同步电机多目标优化多种群遗传算法

分数槽集中绕组无铁心永磁直线同步电机推力分析被引量：13: 2013年; 为实现应用于步进扫描投影光刻机中长行程直线电机的高推力密度、低推力波动等要求,研究叠放和非叠放两种分数槽集中绕组的无铁心永磁直线同步电机推力特性,在建立空载气隙磁场分析模型的基础上,推导叠放和非叠放两种绕组形式的电机空载感应电动势、电磁推力和推力密度的解析式,分析永磁体和初级绕组的结构尺寸对电磁推力的影响规律。通过实例分析,比较推力的解析法计算结果、有限元法仿真结果和实验测试值,证明解析法的合理性。同时,分析比较不同极槽比组合的叠放和非叠放分数槽集中绕组的电机电磁推力和推力密度的大小。结果表明:少极多槽极槽比的叠放分数槽集中绕组形式电机产生的电磁推力与推力密度更大。; 唐勇斌李立毅刘家曦潘东华; 关键词：光刻机分数槽集中绕组电磁推力

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唐勇斌