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谷康

作品数：18 被引量：20H指数：2
供职机构：哈尔滨工业大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金中国人民解放军总装备部预研基金更多>>
相关领域：机械工程一般工业技术电子电信自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 14篇专利
  • 2篇期刊文章
  • 2篇学位论文

领域

  • 4篇机械工程
  • 2篇电子电信
  • 2篇一般工业技术
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 11篇光学
  • 10篇光学元件
  • 8篇大口径
  • 7篇共焦
  • 7篇大口径光学元...
  • 5篇光纤
  • 4篇物镜
  • 4篇面形
  • 4篇面形测量
  • 3篇耦合光纤
  • 3篇显微测量
  • 3篇测点
  • 2篇信号光
  • 2篇仪器
  • 2篇针孔
  • 2篇中介
  • 2篇散射
  • 2篇删除
  • 2篇随动
  • 2篇探针

机构

  • 18篇哈尔滨工业大...

作者

  • 18篇谷康
  • 16篇刘俭
  • 16篇谭久彬
  • 12篇王宇航
  • 6篇刘辰光
  • 4篇牛斌
  • 4篇李梦周
  • 2篇李强

传媒

  • 1篇红外与激光工...
  • 1篇计量学报

年份

  • 1篇2021
  • 8篇2019
  • 7篇2017
  • 1篇2016
  • 1篇2015
共 18 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种基于音叉驱动的高速轴向扫描共焦显微测量装置和方法
一种基于音叉驱动的高速轴向扫描共焦显微测量装置和方法，属于光学精密测量技术领域，为了解决共焦显微技术测量大口径光学元件测量效率低的问题。激光器发出的激光通过固定在音叉上的耦合光纤输出，依次经过高倍物镜和低倍物镜，低倍物镜...
刘俭谷康王宇航刘辰光谭久彬
文献传递
横向快速扫描共焦测量装置及基于该装置的光学元件表面轮廓测量方法
横向快速扫描共焦测量装置及基于该装置的光学元件表面轮廓测量方法，属于光学领域，本发明为解决现有共焦逐点测量时轴向扫描效率低，导致对样品长时间照明容易引起中介层荧光猝灭，影响最终的面形测量精度的问题。本发明包括照明模块、扫...
刘俭王宇航谷康谭久彬
文献传递
一种基于针孔随动高速扫描共焦显微技术的大口径光学元件测量装置和方法
一种基于针孔随动高速扫描共焦显微技术的大口径光学元件测量装置和方法，属于光学精密测量技术领域，为了解决共焦显微技术测量大口径光学元件测量效率低的问题。激光器发出的p光(s光)通过耦合光纤输出，依次经过物镜、四分之一波片和...
刘俭谷康刘辰光王宇航谭久彬
文献传递
光学显微三维测量解耦合准则被引量：10
2017年
光学显微三维测量耦合效应是指沟槽或台阶样品高度测量准确性受横向周期影响产生原理误差的现象。采用卷积不相关原则和有限能量损失原则,分别建立了薄样品和深沟槽样品光学显微三维测量的解耦合模型,揭示了被测样品特征参数与光学仪器表征能力之间的关联关系。与现有W/3准则相比,光学显微三维测量解耦合准则能够客观反映光学仪器表征能力受样品结构差异变化的影响,指示高度测量解耦合评定的示值区域,预见高度测量原理误差产生,为沟槽或台阶样品三维结构表征提供了一种新的计量评定准则。
刘俭谷康李梦周谭久彬
基于共聚焦显微原理的大口径光学元件母线轮廓测量方法
基于共聚焦显微原理的大口径光学元件母线轮廓测量方法，属于光学精密测量技术领域，解决了现有大口径光学元件的共聚焦轮廓测量方法的效率低的问题。本发明所述的方法基于大口径光学元件母线轮廓测量装置实现，其包括建立三维直角坐标系、...
刘俭王宇航牛斌谷康谭久彬
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基于共焦显微原理的宏微结合面形测量装置及其测量方法
基于共焦显微原理的宏微结合面形测量装置及其测量方法，属于光学精密测量技术领域，本发明为解决现有微观结构的测量方法测量范围有限，无法进行大口径光学元件测量的问题。本发明包括共焦显微模块、直线运动平台模块和旋转运动平台模块，...
刘俭王宇航谷康谭久彬
一种基于中介层散射的针孔随动共焦显微装置和方法
一种基于中介层散射的针孔随动共焦显微装置和方法，属于光学精密测量技术领域，为了解决共焦显微技术测量大口径高陡度光学元件测量效率低的问题。激光器发出的照明激光光通过耦合光纤输出，依次经过准直镜、物镜，物镜将激光汇聚至镀有荧...
刘俭谷康刘辰光王宇航谭久彬
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一种高速追踪扫描共焦显微测量装置和数据处理方法
一种高速追踪扫描共焦显微测量装置和数据处理方法，属于光学精密测量技术领域，为了解决共焦显微技术测量大口径光学元件测量效率低的问题。激光器发出平行光经过偏振分光棱镜(PBS)和四分之一波片后，经高速谐振镜反射，依次通过扫描...
刘俭谷康王宇航刘辰光谭久彬
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基于共焦显微技术的大口径非球面谐衍射样品测量装置与方法
本发明公开了一种基于共焦显微技术的大口径非球面谐衍射样品测量装置与方法，所述装置由共焦显微模块、直线运动平台模块和被测样品构成，所述的共焦显微模块的照明模块按照照明光传播方向依次为：激光器、准直镜、光阑、分光棱镜和物镜；...
刘俭谭久彬谷康王宇航牛斌
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基于实时监测运动误差的光学元件高精度测量装置
基于实时监测运动误差的光学元件高精度测量装置，属于光学精密测量领域，为解决现有运动误差监测手段不能满足对大口径光学元件轮廓检测精度需求的问题。本发明X向激光干涉仪用于监测Y向导轨运动的实时位移、Y向导轨运动过程中X向的直...
刘俭谭久彬谷康牛斌
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