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孙滨

作品数：8 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院深圳先进技术研究院更多>>
相关领域：电子电信金属学及工艺化学工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 8篇中文专利

领域

  • 1篇化学工程
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇电子电信

主题

  • 6篇电极
  • 6篇微电极阵列
  • 4篇电化学
  • 4篇微电极
  • 3篇电化学阻抗
  • 3篇阻抗
  • 2篇修饰
  • 2篇系统功耗
  • 2篇纳米
  • 2篇金属
  • 2篇刻蚀
  • 2篇功耗
  • 2篇干法刻蚀
  • 1篇电化学稳定性
  • 1篇电极表面
  • 1篇亚胺
  • 1篇掩膜
  • 1篇氧化铱
  • 1篇粘附
  • 1篇粘附力

机构

  • 8篇中国科学院

作者

  • 8篇吴天准
  • 8篇孙滨
  • 4篇夏凯
  • 4篇曾齐
  • 2篇李腾跃
  • 1篇杜学敏

年份

  • 4篇2017
  • 4篇2016
共 8 条 记 录，以下是 1-8
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排序方式：
一种铂纳米线修饰的微电极阵列及其制备方法
本发明提供了一种铂纳米线修饰的微电极阵列，所述微电极阵列的电极表面设置有铂纳米线修饰层。该微电极阵列以铂纳米线为表面修饰层，修饰层与微电极基底的结合力强，不容易脱落导致电极失效，并且修饰后的微电极表面积极大地增加，其电化...
夏凯吴天准孙滨曾齐
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一种利用微加工在电极表面制备三维微结构的方法
本发明公开了一种利用微加工在电极表面制备三维微结构的方法，所述方法包括如下步骤：在电极的表面形成掩膜层；所述掩膜层上具有若干个贯穿所述掩膜层的空隙；通过在所述掩膜层上沉积金属层，在所述空隙内形成与所述电极的表面连接的金属...
彭琎孙滨吴天准
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一种微电极阵列的制备方法
本发明提供了一种微电极阵列的制备方法，包括：制备基底；在基底上制备第一柔性绝缘衬底，并通过干法刻蚀的方法对第一柔性绝缘衬底进行图形化；在第一柔性绝缘衬底上制备金属电连接结构；在金属电连接结构上制备一介电层，并通过干法刻蚀...
吴天准李腾跃孙滨
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一种铂纳米柱修饰的微电极阵列及其制备方法
本发明提供了一种铂纳米柱修饰的微电极阵列，所述微电极阵列的电极表面设置有铂纳米柱修饰层。该微电极阵列以铂纳米柱为表面修饰层，修饰层与微电极基底的结合力较好，不容易脱落导致电极失效，并且修饰后的微电极表面积极大地增加，其电...
夏凯吴天准孙滨曾齐彭琎
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一种增强聚酰亚胺基底和导电金属层之间的粘附力的方法
本发明提供了一种增强聚酰亚胺基底和金属层之间的粘附力的方法，所述方法是通过在聚酰亚胺薄膜表面构筑微纳结构，使得聚酰亚胺薄膜与金属导电层之间的粘附力得到很大提高，在后续的工艺中聚酰亚胺基底和Ti/Pt金属导电层之间不易剥离...
孙滨闫醒阳吴天准
一种利用光刻胶制备三维微电极阵列的方法
本发明公开了一种利用光刻胶制备三维微电极阵列的方法，包括：在硅衬底上形成第一光刻胶层，在第一光刻胶层上形成第一绝缘层；形成若干个阵列状排布的、贯穿所述第一绝缘层与第一光刻胶层至硅衬底的上表面的孔洞，并在孔洞内填充金属以形...
李腾跃吴天准孙滨杜学敏
一种氧化铱/铂纳米柱复合涂层修饰的微电极阵列及其制备方法
本发明提供了一种氧化铱/铂纳米柱复合涂层修饰的微电极阵列，所述微电极阵列的电极表面设置有氧化铱/铂纳米柱复合涂层，所述氧化铱/铂纳米柱复合涂层包括依次设置于所述电极表面的铂纳米柱层和氧化铱层。该微电极阵列以氧化铱/铂纳米...
夏凯吴天准孙滨曾齐彭琎
微电极及其制备方法与应用
本发明公开了一种微电极及其制备方法和应用。本发明微电极包括基体和设置于所述基体上的微电极单元，在所述微电极单元外表面还结合有三维铂纳米层，在所述三维铂纳米层外表面还结合有电荷存储与注入增强层，其中，所述三维铂纳米层含有分...
曾齐吴天准夏凯孙滨马克·霍默恩
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