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崔志国
作品数:
14
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供职机构:
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
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相关领域:
医药卫生
自动化与计算机技术
金属学及工艺
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合作作者
鞠涛
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿...
张立国
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿...
张宝顺
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿...
范亚明
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿...
张泽洪
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿...
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金属学及工艺
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自动化与计算...
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医药卫生
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机构
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中国科学院
作者
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崔志国
9篇
张宝顺
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张立国
9篇
鞠涛
8篇
张泽洪
8篇
范亚明
4篇
熊敏
3篇
李华
2篇
董旭
2篇
赵迎春
1篇
付凯
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邢政
年份
1篇
2023
3篇
2021
1篇
2020
6篇
2019
1篇
2018
2篇
2016
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气相沉积均匀加热装置及气相沉积炉
本发明揭示了气相沉积均匀加热装置及气相沉积炉,包括至少两个间隙设置的加热板,所述加热板在与它们平行的同一投影面上的投影重合,且相邻加热板之间的间隙形成用于放置工件的加热空间,每个所述加热板的两端分别连接一石墨电极,每个所...
张立国
崔志国
鞠涛
范亚明
张泽洪
张宝顺
文献传递
圆盘类零件一次性全表面沉积用工件驱动装置及气相沉积炉
本发明揭示了圆盘类零件一次性全表面沉积用工件驱动装置及气相沉积炉,包括至少一对配合支撑工件并驱动工件绕其中心轴自转的第一转盘和第二转盘,所述第一转盘和第二转盘绕各自的中心轴自转,并持续改变与工件的接触位置。本发明设计精巧...
崔志国
鞠涛
张立国
范亚明
张泽洪
张宝顺
文献传递
一种用于半导体快速退火的加热装置及控制方法
一种用于半导体快速退火的加热装置及控制方法,包括电源模块、整流滤波模块、IGBT模块、PWM信号驱动模块、加热灯管组和计算机控制系统;所述电源模块与所述整流滤波模块连接;其中,IGBT模块包含输入端口、控制端口和输出端口...
董旭
崔志国
熊敏
李华
圆盘类零件一次性全表面沉积用工件驱动装置及气相沉积炉
本发明揭示了圆盘类零件一次性全表面沉积用工件驱动装置及气相沉积炉,包括至少一对配合支撑工件并驱动工件绕其中心轴自转的第一转盘和第二转盘,所述第一转盘和第二转盘绕各自的中心轴自转,并持续改变与工件的接触位置。本发明设计精巧...
崔志国
鞠涛
张立国
范亚明
张泽洪
张宝顺
文献传递
一种用于离子注入的激光辅助装置及离子注入方法
本发明公开了一种用于离子注入的激光辅助装置,包括:激光器、透光窗、调光组件,离子束对第一区域进行离子注入时,第二激光器对第二区域进行加热;离子束对第二区域进行离子注入时,第一激光器对第一区域进行加热;第一区域或第二区域离...
赵迎春
崔志国
熊敏
文献传递
一次性全表面气相沉积支架、气相沉积炉及其沉积方法
本发明揭示了一次性全表面气相沉积支架、气相沉积炉及其沉积方法,一次性全表面气相沉积支架包括共轴的第一支架和第二支架,所述第一支架上形成有至少一个第一支撑平面,所述第二支架上形成有与每个第一支撑平面匹配且共轴的第二支撑平面...
鞠涛
崔志国
张立国
范亚明
张泽洪
张宝顺
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一种用于半导体快速退火的加热装置及控制方法
一种用于半导体快速退火的加热装置及控制方法,包括电源模块、整流滤波模块、IGBT模块、PWM信号驱动模块、加热灯管组和计算机控制系统;所述电源模块与所述整流滤波模块连接;其中,IGBT模块包含输入端口、控制端口和输出端口...
董旭
崔志国
熊敏
李华
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圆盘类零件一次性全表面气相沉积炉
本发明揭示了圆盘类零件一次性全表面气相沉积炉,包括真空室,还包括工件驱动组件,支撑并驱动至少一个工件绕工件的中心轴自转并持续切换与工件的接触位置;以及,加热组件,从工件驱动组件上的每个工件的两个侧面同时对工件进行加热。本...
鞠涛
崔志国
张立国
范亚明
张泽洪
张宝顺
一种等离子体装置及其应用
本发明公开了一种等离子体装置及其应用。所述等离子体装置包括等离子体发生器、密封机构、第一电极、第二电极、第一电极板以及第二电极板;所述密封机构能够与薄膜沉积设备的真空腔室配合形成密封空间,第一电极及第二电极设置于密封机构...
邢政
付凯
李华
崔志国
文献传递
一种用于离子注入的激光辅助装置及离子注入方法
本发明公开了一种用于离子注入的激光辅助装置,包括:激光器、透光窗、调光组件,离子束对第一区域进行离子注入时,第二激光器对第二区域进行加热;离子束对第二区域进行离子注入时,第一激光器对第一区域进行加热;第一区域或第二区域离...
赵迎春
崔志国
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