魏萌萌
- 作品数:23 被引量:12H指数:2
- 供职机构:北京东方计量测试研究所更多>>
- 发文基金:北京市科技新星计划更多>>
- 相关领域:一般工业技术航空宇航科学技术建筑科学自动化与计算机技术更多>>
- 非蒸散型吸气剂泵(NEG)对N_(2)气的抽气特性研究
- 2023年
- 非蒸散型吸气剂泵(NEG)是采用过渡族金属材料的吸气特性制作成的真空泵,用于超高/极高真空环境的获得及气体的纯化等方面。本文研制出吸气剂泵性能测试系统,研究了非蒸散型吸气剂泵对N_(2)气的抽气特性,分析了影响抽气性能的因素。研制的系统采用标准流量抽速测试方法,采用固定流导法流量计提供(10^(-5)~10^(-8))Pam^(3)/s的标准气体流量,可在测试罩内获得(10^(-2)~10^(-5))Pa的气体压力下实现抽速测试。实验结果表明,NEG泵激活后处于最佳抽气状态,当抽速下降之后可在超高真空条件下放置一段时间将抽速恢复至初始状态,但泵的整体抽气性能发生一定变化;当泵连续抽气时,抽速随着吸气量的增大而逐渐减小,随着泵抽气压力的增大而减小。
- 陈千睿魏萌萌魏萌萌杨传森卢耀文闫睿杨振康朋伟陈又琦
- 关键词:抽速
- 一种基于对称结构的固体材料放气率测试装置设计被引量:2
- 2023年
- 为了解决小于10-8Pa·m^(3)/s的固体材料放气率测试问题,设计出一种基于对称结构的测试装置。通过对称结构的两个相同真空室分别作为样品室和空载参考室,避免了采用一个真空室先后分别测量空载时本底放气和放置样品后放气重复过程及引入的较大测量偏差;采用耐高温特殊石英材料制成的低放气率真空室,为实现放气率比较小的固体材料测试解决了真空室本底放气的限制条件;设计出用同一台真空计通过转换气路分别测量样品室和空载室内压力的对称结构,避免了原有动态流量法采用两台真空计分别测量时由于灵敏度的差异而引入的较大偏差;装置集成了标准气体流量计用于真空计的在线校准,提高了测量结果的准确性;采用的对称结构陶瓷加热炉,对样品实现25℃~1000℃范围的加热,设计的装置对材料放气量的测量范围为5×10^(-6)Pa·m^(3)/s~5×10^(-10)Pa·m^(3)/s。
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- 关键词:放气率
- 一种热阴极电离真空计电参数校准装置及方法
- 本发明公开了一种热阴极电离真空计电参数校准装置及方法,该装置包括了电离规热阴极灯丝模拟电阻、模拟发射电流源、模拟离子电流源和保护二极管,其特征在于,电离规热阴极灯丝模拟电阻和保护二极管模拟电离规电阻特性,模拟发射电流源和...
- 延峰邵壮田虎林魏萌萌卢耀文
- 文献传递
- 高真空泵抽速测试装置及其使用方法
- 本发明涉及一种高真空泵抽速测试装置及其使用方法,高真空泵抽速测试装置包括进气管路、测试管路和对比管路,测试管路包括顺序连接的第三阀门、第一测试罩、待测高真空泵、第一前级泵,第一测试罩还连接有第二真空计;对比管路包括顺序连...
- 卢耀文杨传森丁双董云宁魏萌萌闫睿王欢何家伟宋琦姚雪琦陈俊儒康鹏伟王汐月
- 真空计校准装置及校准方法
- 本发明涉及一种真空计校准装置及校准方法,包括依次相连通的供气源、流量流量计、第一真空阀门、校准室、限流孔、第三阀真空阀、分子泵抽气机组、第四真空阀和前级泵,所述校准室具有赤道平面,所述赤道平面上开设有法兰接口分别连接有第...
- 卢耀文柏向春闫睿董云宁田虎林魏萌萌杨振
- 文献传递
- 一种热阴极电离真空计电参数校准装置及方法
- 本发明公开了一种热阴极电离真空计电参数校准装置及方法,该装置包括了电离规热阴极灯丝模拟电阻、模拟发射电流源、模拟离子电流源和保护二极管,其特征在于,电离规热阴极灯丝模拟电阻和保护二极管模拟电离规电阻特性,模拟发射电流源和...
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- 文献传递
- 一种高精度材料放气率测试系统及其测试方法
- 本发明公开了一种高精度材料放气率测试系统及其测试方法,属于高精度材料放气率测试领域,包含第一真空室、第二真空室、第三真空室、第一小孔元件、第二小孔元件、第一真空计、第二真空计、第三真空计、机械泵、第一分子泵、第二分子泵、...
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- 文献传递
- 高真空泵抽速测试装置及其使用方法
- 本发明涉及一种高真空泵抽速测试装置及其使用方法,高真空泵抽速测试装置包括进气管路、测试管路和对比管路,测试管路包括顺序连接的第三阀门、第一测试罩、待测高真空泵、第一前级泵,第一测试罩还连接有第二真空计;对比管路包括顺序连...
- 卢耀文杨传森丁双董云宁魏萌萌闫睿王欢何家伟宋琦姚雪琦陈俊儒康鹏伟王汐月
- EJA430A型压力变送器不确定度评定
- 台二线制的压力变送器进行不确定度评定,建立了相应的数学模型,通过分析压力变送器的数学模型,并依据JJG 882-2004《压力变送器检定规程》选择符合测量等级的一台标准电阻,一台数字多用表,通过间接测量的方法计算出电流值...
- 付文帅李妍魏萌萌王欢李彤田虎林
- 关键词:压力变送器示值误差不确定度电流值
- 超灵敏度检漏仪校准技术进展
- 2023年
- 本文综述了国际上超灵敏度检漏仪的校准技术进展。超灵敏度检漏仪是高可靠长寿命真空器件封装的重要检漏工具,当前报道的检漏下限可达10−16 Pa·m^(3)/s,但检漏结果的正确性是器件可靠性的关键因素。超灵敏度检漏结果正确性主要取决于检漏仪的自身性能和计量校准,对于后者,国际上先后采用标准漏孔、可变漏率的白金丝漏孔及标准气体流量计作为参考标准来提高检漏结果的正确性。采用标准漏孔的方法是使用当前下限仅为10−11 Pa·m^(3)/s的漏孔作为参考标准,由于漏孔自身的偏差及检漏采用质谱计跨越几个数量级的线性递推方法,在小于10−14 Pa·m^(3)/s范围的检漏结果偏差可达一个数量级;采用可变漏率的白金丝漏孔作为参考标准,可提供(10−10~10−12)Pa·m^(3)/s范围内漏率,与标准漏孔相比对检漏结果的正确性有一定提升;采用近期新研制的宽量程标准气体流量计作为参考标准,可提供下限为10−16 Pa·m3/s范围内漏率,解决了目前超灵敏度检漏仪全量程的校准难题,将检漏结果的合成标准不确定度减小到15%以内,提升了长寿命真空器件的可靠性。
- 王汐月卢耀文卢耀文董云宁魏萌萌杨传森魏萌萌齐京
- 关键词:校准真空器件高可靠