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黄雪梅

作品数:1 被引量:1H指数:1
供职机构:北京师范大学核科学与技术学院更多>>
相关领域:电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇扩散
  • 1篇硅片
  • 1篇变分
  • 1篇变分原理
  • 1篇

机构

  • 1篇北京师范大学

作者

  • 1篇黄祖洽
  • 1篇黄雪梅

传媒

  • 1篇北京师范大学...

年份

  • 1篇1988
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
硅片氧化过程及其对硅中杂质分布影响的分析被引量:1
1988年
利用带活动边界的“D'Alembert变分法”分析了硅片的氧化过程及此过程所引起的硅中杂质的再分布.氧化过程的理论分析结果及对两种常见的杂质初始分布的计算结果均与实验相符.
黄祖洽黄雪梅
关键词:扩散
共1页<1>
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