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凤瑞

作品数：40 被引量：0H指数：0
供职机构：中国兵器工业集团更多>>
相关领域：自动化与计算机技术文化科学电子电信交通运输工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 40篇中文专利

领域

  • 5篇自动化与计算...
  • 4篇文化科学
  • 3篇电子电信
  • 1篇机械工程
  • 1篇交通运输工程

主题

  • 9篇电极
  • 9篇锚点
  • 9篇MEMS器件
  • 7篇检测电极
  • 7篇硅基
  • 6篇芯片
  • 5篇弹性梁
  • 5篇矢量
  • 5篇凸点
  • 5篇抗冲
  • 5篇抗冲击
  • 5篇封装
  • 5篇蜂窝结构
  • 5篇蜂窝状
  • 5篇感器
  • 5篇传感
  • 5篇传感器
  • 4篇单支点
  • 4篇电容式
  • 4篇埋氧层

机构

  • 40篇中国兵器工业...

作者

  • 40篇凤瑞
  • 8篇黄艳辉
  • 7篇鞠莉娜
  • 5篇王甫
  • 4篇苏亚慧
  • 3篇张斌
  • 3篇方岚
  • 2篇黄斌
  • 2篇陈博
  • 1篇王晓臣
  • 1篇白小丽

年份

  • 3篇2025
  • 6篇2024
  • 5篇2023
  • 3篇2022
  • 6篇2021
  • 8篇2020
  • 3篇2019
  • 2篇2017
  • 4篇2016
共 40 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
基于多通孔硅基板的MEMS芯片封装结构及其制备方法
本发明公开了基于多通孔硅基板的MEMS芯片封装结构及其制备方法，包括：封装管壳、粘胶、多通孔硅基板、ASIC电路芯片和MEMS结构芯片；多通孔硅基板上设置阵列式分布的若干通孔构成的多孔区域；ASIC电路芯片和MEMS结构...
商兴莲凤瑞周铭宋金龙周六辉
一种自动量程的MEMS电容式传感器
本发明公开了一种自动量程的MEMS电容式传感器，包括MEMS电容敏感模块、电容/电压转换模块、A/D模块和微处理器；MEMS电容敏感模块是由敏感可动结构和固定结构构成的电容；敏感可动结构敏感检测待测物理量产生的机械形变；...
凤瑞
一种超薄柔性硅基电容式微机械超声波换能器及加工方法
本发明公开了一种超薄柔性硅基电容式微机械超声波换能器，包括具有至少一个敏感单元的至少一个CMUT阵元，所述至少一个CMUT阵元设置于柔性衬底电路，所述敏感单元由第一SOI片和第二SOI片键合而成，所述第一SOI片的器件层...
宋金龙郑欣怡陈博凤瑞商兴莲周铭
蜂窝状微止挡结构设计方法
本发明公开了一种蜂窝状微止挡结构设计方法，在MEMS传感器中的质量块的两侧对称设置蜂窝状微止挡结构，根据确定的承受最大冲击加速度值、质量块质量、蜂窝状微止挡结构的最大形变、蜂窝状微止挡结构材料机械特性，采用数值仿真计算，...
凤瑞
文献传递
MEMS单片集成标矢量复合声波传感器及其加工方法
本发明公开了一种MEMS单片集成标矢量复合声波传感器，包括衬底，所述衬底上设置有由硅基材料制成的标量探测模块与矢量探测模块，所述矢量探测模块包括设置在第一空腔内的支撑体，所述支撑体通过连接梁悬置在边框上，所述连接梁设置有...
宋金龙郑欣怡凤瑞白建新
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一种蜂窝状微止挡结构
本发明公开了一种蜂窝状微止挡结构，包括传导框架和支撑框架夹持在其中的蜂窝结构，所述传导框架朝向外部的一面具有一向外凸出的碰撞凸点。通过层叠的蜂窝结构将冲击应力分散开，在质量块与微止挡结构碰撞接触后蜂窝状微止挡结构既变形缓...
凤瑞
一种单支点单片集成三轴电容式加速度计芯片
本发明公开了一种单支点单片集成三轴电容式加速度计芯片，包括硅敏感结构及其两侧的盖板、基板，硅敏感结构由SOI(Silicon on Insulator)片加工而成，通过矩形连接梁弹性悬置于设计在硅敏感结构中心位置的方形锚...
宋金龙王甫凤瑞李厚旭解亚飞
一种自动量程的MEMS电容式传感器
本发明公开了一种自动量程的MEMS电容式传感器，包括MEMS电容敏感模块、电容/电压转换模块、A/D模块和微处理器；MEMS电容敏感模块是由敏感可动结构和固定结构构成的电容；敏感可动结构敏感检测待测物理量产生的机械形变；...
凤瑞
文献传递
一种超薄柔性硅基电容式微机械超声波换能器及加工方法
本发明公开了一种超薄柔性硅基电容式微机械超声波换能器，包括具有至少一个敏感单元的至少一个CMUT阵元，所述至少一个CMUT阵元设置于柔性衬底电路，所述敏感单元由第一SOI片和第二SOI片键合而成，所述第一SOI片的器件层...
宋金龙郑欣怡陈博凤瑞商兴莲周铭
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一种裸芯片离心试验固定夹具
本发明公开了一种裸芯片离心试验固定夹具，包括一下底座和可扣合于下底座上的第一盖板和第二盖板；下底座上设置两级台阶，两级台阶的过渡处分别为第一过渡台和第二过渡台；第一过渡台和第二过渡台处分别设置有一个或一个以上的沟槽；第一...
凤瑞张斌苏亚慧方岚
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