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曹永祥

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：南京信息工程大学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文专利

主题

  • 1篇条纹
  • 1篇微机械
  • 1篇微机械器件
  • 1篇空间分辨率
  • 1篇硅玻璃
  • 1篇非接触
  • 1篇非接触测量
  • 1篇分辨率
  • 1篇干涉测量系统
  • 1篇干涉条纹

机构

  • 1篇南京信息工程...

作者

  • 1篇任珂
  • 1篇葛益娴
  • 1篇李月
  • 1篇朱慧
  • 1篇曹永祥

年份

  • 1篇2015
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
一种用于硅玻璃静电键合应力的干涉测量系统
本实用新型公开了一种用于硅玻璃静电键合应力的干涉测量系统，包括一个He-Ne激光器作为光源，一个泰曼-格林干涉系统用于产生干涉条纹，一个压电陶瓷（PZT）移相装置，一个CMOS相机采集干涉条纹并送到计算机进行处理。本干涉...
葛益娴曹永祥任珂张翰凌朱慧李月
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