林荣辉
- 作品数：3 被引量：3H指数：1
- 供职机构：中国科学院合肥智能机械研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金中国科学院“百人计划”更多>>
- 相关领域：电子电信理学一般工业技术自动化与计算机技术更多>>
- 基于ZnO压电薄膜的柔性MEMS超声波换能器被引量：3
- 2016年
- 该文提出一种柔性的微机电系统（MEMS）超声波器件。该器件由下电极、ZnO薄膜、上电极及聚酰亚胺柔性基底构成。其制作过程简单,采用直流磁控溅射制作上、下电极,反应射频磁控溅射制作氧化锌压电薄膜。薄膜间粘合牢固,可反复弯折。SEM和XRD结果表明,氧化锌薄膜厚度可达4~8μm,具有高度（002）择优取向的柱状晶结构。根据XRD所得的结果计算了薄膜平均晶粒尺寸和内应力大小,结果表明,晶粒尺寸约为22nm,薄膜内压应力约为-1.248 4GPa。利用激光多普勒测得其共振频率约为5MHz。同时,研究发现,较厚的ZnO薄膜使振幅变大,导致振动品质因数（Q）值增加。
- 林荣辉孙翠敏尤晖张瑞杨明鹏李小军
- 关键词：压电式射频磁控溅射氧化锌薄膜
- 用于细胞导入的MEMS聚焦超声波器件的研究
- MEMS超声波换能器具有小型化，功耗低，易于阵列化等特点。目前在超声成像，光声成像，检测探伤等领域具有很好的应用前景。将MEMS超声波换能器与微流体管道集成，构成MEMS超声微流体系统，有望实现微流体环境下的局域超声空化...
- 林荣辉
- 关键词：超声波换能器压电薄膜磁控溅射
- 基于微流体环境的超声波基因转导器件的研制
- 2016年
- 超声波细胞基因导入是近年来才开发出来的一种新的物理方法。不过目前超声装置没有统一的标准,传统转导法通常是宏观体积的,不能做到特定细胞或者单个细胞的定向转导。基于微机电系统(MEMS)工艺设计制作的器件将超声波与微流控技术结合,能克服上述缺点。此外还具有样本用量少,经济节约、操作简便等优点,是基因转导发展的一个趋势。
- 张萍尤晖黄哲林荣辉李小军
- 关键词：微流体超声空化超声换能器基因转导
