宋丽娟
- 作品数：3 被引量：0H指数：0
- 供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- PCB AOI中自动调焦及调整倍率的设计与实现
- 2010年
- 介绍了PCB自动光学检测系统中的自动调焦和调整倍率的方法。该方法在无法精确测量物像距的情况下,根据获取标准测量目标的图像信息,通过分析计算,自动调整成像系统的物像距,获得清晰的图像及要求的倍率。通过在设备上的运行,此方法调焦精准,调出的倍率符合要求,自动化程度很高,能够满足整机系统的要求。
- 付纯鹤魏祥英孙明睿宋丽娟
- 关键词：自动调焦倍率图像处理自动光学检测
- 半导体设备异常处理机制方法的研究
- 2011年
- 针对半导体设备自动化水平的不断提高,设计一种多线程多等级划分的异常处理机制,并根据设备自身特性,灵活采用软硬件结合或软件异常处理方式去处理设备的异常。
- 宫晨宋丽娟刘玉倩
- 关键词：半导体设备多线程异常处理
- 全自动光刻机的同步控制方法
- 2013年
- 对于一种包含多个相对独立又彼此干涉机构的全自动光刻机,设计合理的控制方法才能使各个机构高效而稳定地协同工作。按照机械结构将设备划分为4个控制对象,采用同步控制方法使这4个对象实现并行工作。这种控制方法相对于顺序执行工艺流程的方式,极大地提高了设备的运行效率。而且,这种同步控制方法也可适用于具有类似控制要求的其他设备。
- 宋丽娟宫晨
- 关键词：多机械手同步控制
