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刘金声

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：中国航天工业总公司第二研究院更多>>

文献类型

  • 2篇中文专利

主题

  • 2篇电机
  • 2篇电机驱动
  • 2篇电机驱动器
  • 2篇驱动器
  • 2篇微机
  • 2篇离子束
  • 2篇开关
  • 2篇开关量
  • 2篇步进
  • 2篇步进电机
  • 2篇步进电机驱动
  • 2篇步进电机驱动...
  • 2篇程序控制
  • 2篇进电机

机构

  • 2篇中国航天工业...

作者

  • 2篇刘金声

年份

  • 1篇2001
  • 1篇1999
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
高速变深度刻蚀方法及其装置
高速变深度刻蚀方法及其装置是将确定的参数量输入给微机,微机按自编程序控制双束栏片的运动方向、每次行走的步数、行走一定步数后的停留时间和中断等;步进电机驱动器受微机运行程序控制的工作指令为简单的开关量,由束栏片移动程序控制...
刘金声
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变深度刻蚀方法及其装置
变深度刻蚀方法及其装置是将确定的参数量输入给微机，微机按自编程序控制双束栏片的运动方向，每次行走的步数，行走一定步数后的停留时间和中断等；步进电机驱动器受微机运行程序控制的工作指令为简单的开关量，由束栏片移动程序控制各小...
刘金声
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共1页<1>
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