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梁锋
作品数:
60
被引量:3
H指数:1
供职机构:
中国科学院半导体研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
金属学及工艺
化学工程
一般工业技术
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合作作者
赵德刚
中国科学院半导体研究所
刘宗顺
中国科学院半导体研究所
杨静
中国科学院半导体研究所
陈平
中国科学院半导体研究所
朱建军
中国科学院半导体研究所
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机构
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中国科学院
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中国科学院大...
作者
60篇
赵德刚
60篇
梁锋
51篇
刘宗顺
48篇
杨静
43篇
陈平
21篇
朱建军
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1篇
2018
2篇
2017
1篇
2016
2篇
2015
共
60
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基于P型氮化镓的欧姆接触生成方法及半导体器件
本发明提供一种基于P型氮化镓的欧姆接触生成方法及半导体器件,涉及半导体技术领域,其中方法包括:在衬底上制备外延结构,外延结构包括以下至少一项:氮化镓缓冲层、非故意掺杂氮化镓层、第一掺镁P型氮化镓层及第二掺镁P型氮化镓层;...
梁锋
赵德刚
刘宗顺
杨静
一种紫外激光器外延片及其制备方法
本发明公开了一种紫外激光器外延片及其制备方法,涉及半导体器件技术领域,该制备方法包括:在非掺杂基础层上制备非掺杂过渡层,其中,非掺杂基础层包括非掺杂GaN基础层或非掺杂AlN基础层;在非掺杂过渡层上制备第一AlGaN限制...
杨静
赵德刚
梁锋
陈平
刘宗顺
一种提高空穴注入的氮化镓基激光器
本公开提供了一种提高空穴注入的氮化镓基激光器,包括P型电极和N型电极,还包括:第一限制层,设置于所述P型电极和所述N型电极之间,用于限制光场;多量子阱,设置于所述第一限制层与所述N型电极之间,用于使电子和空穴在此处发生辐...
侯玉菲
赵德刚
梁锋
杨静
陈平
刘宗顺
文献传递
倒装阳极的纳米真空三极管结构及制备方法
一种倒装阳极的纳米真空三极管结构,包括:一衬底;一氮化铝薄膜阴极生长于衬底的正面;一金属电极制作在衬底的背面;形成阴极;一玻璃基板;一透明导电层制作在玻璃基板上;一第一绝缘层制作在透明导电层上,中间为窗口;一金属栅极制作...
梁锋
陈平
赵德刚
侍铭
刘宗顺
江德生
文献传递
具有AlInN镁反向扩散阻挡层的氮化镓基紫外激光器
一种具有AlInN镁反向扩散阻挡层的氮化镓基紫外激光器包括一氮化镓同质衬底;一n型同质外延层;一n型限制层;一n型波导层;一有源区;一AlInN镁反向扩散阻挡层;一p型电子阻挡层;一p型波导层;一p型限制层,其制作在p型...
陈平
赵德刚
朱建军
刘宗顺
杨静
梁锋
文献传递
具有复合波导层的氮化镓基近紫外激光器
一种具有复合波导层的氮化镓基近紫外激光器包括一衬底;一n型外延层;一n型限制层;一第一n型AlInN波导层;一第二n型AlInN波导层;一有源区;一AlInN波导层;一p型电子阻挡层;一p型AlInN波导层;一p型限制层...
陈平
赵德刚
朱建军
刘宗顺
杨静
梁锋
文献传递
一种氮化镓的制备方法及氮化镓基器件
本公开实施例提供了一种氮化镓的制备方法及氮化镓基器件,该制备方法包括:提供衬底;在上述衬底上生长低温成核层;以及在反应室的温度处于1000℃~1100℃且上述反应室的压力处于100Torr~300Torr的情况下,在上述...
王柏斌
赵德刚
梁锋
杨静
陈平
刘宗顺
一种氮化镓基激光器制备方法和氮化镓基激光器
本公开提供了一种氮化镓基激光器制备方法和氮化镓基激光器,其中,氮化镓基激光器制备方法包括:在衬底的上表面制作n型限制层;在第一预设生长环境中在n型限制层的上表面制作下波导层;在下波导层的上表面制作量子阱有源区;在第二预设...
梁锋
赵德刚
陈平
刘宗顺
杨静
文献传递
GaN基激光器及其制备方法
本发明提供了一种氮化镓基激光器的制备方法,其包括以下步骤:S1:在氮化镓衬底上依次生长n型限制层、下波导层、量子阱有源区、复合上波导层、p型电子阻挡层、p型限制层、p型欧姆接触层;S2:将p型欧姆接触层、p型限制层、p型...
赵德刚
梁锋
具有阶梯式电子阻挡层的垂直腔面发射激光器
提供一种具有阶梯式电子阻挡层的垂直腔面发射激光器,其结构包括:第一分布式布拉格反射器;位于第一分布式布拉格反射器上的p型区;位于p型区远离第一分布式布拉格反射器一侧的第一电子阻挡层;位于第一电子阻挡层远离第一分布式布拉格...
王亚晨
赵德刚
梁锋
杨静
刘宗顺
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