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蔡云鹏

作品数：4 被引量：2H指数：1
供职机构：南京大学更多>>
相关领域：理学一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇专利
  • 1篇学位论文
  • 1篇会议论文

领域

  • 2篇一般工业技术
  • 2篇理学

主题

  • 3篇溅射
  • 3篇磁控
  • 3篇磁控溅射
  • 2篇单晶
  • 2篇单晶硅
  • 2篇单晶硅片
  • 2篇电子行业
  • 2篇多层膜
  • 2篇双相
  • 2篇微电子
  • 2篇微电子行业
  • 2篇金属多层膜
  • 2篇溅射法
  • 2篇高真空
  • 2篇硅片
  • 2篇磁控溅射法
  • 1篇高熵合金
  • 1篇合金

机构

  • 4篇南京大学

作者

  • 4篇蔡云鹏
  • 3篇操振华
  • 3篇孟祥康
  • 2篇孙超
  • 2篇魏明真

年份

  • 1篇2020
  • 1篇2019
  • 2篇2018
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
一种金属多层膜的制备方法
本发明涉及一种金属多层膜的制备方法，先将单晶硅片依次由丙酮和乙醇超声清洗，吹干后放入超高真空磁控溅射设备基片台上，准备镀膜；采用直流磁控溅射法，将金属靶材放在真空室靶台上，在本底真空度为1.0×10<Sup>‑5</Su...
操振华孙超魏明真马玉洁王耿洁蔡云鹏孟祥康
文献传递
双相高熵合金薄膜的制备及其力学行为
合金作为结构与功能材料在众多领域有着广泛的应用。近年来,随着多组元复杂成分合金的发展,高熵合金(HEAs)逐渐引起研究者们的注意。高熵合金一般定义为由五种或以上元素以等原子比或近等原子比形成固溶体结构的一类合金。已有的研...
蔡云鹏
关键词：高熵合金磁控溅射
文献传递
高强度纳米结构双相高熵合金薄膜
操振华蔡云鹏孟祥康
一种金属多层膜的制备方法
本发明涉及一种金属多层膜的制备方法，先将单晶硅片依次由丙酮和乙醇超声清洗，吹干后放入超高真空磁控溅射设备基片台上，准备镀膜；采用直流磁控溅射法，将金属靶材放在真空室靶台上，在本底真空度为1.0×10<Sup>‑5</Su...
操振华孙超魏明真马玉洁王耿洁蔡云鹏孟祥康
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