曹艳波
- 作品数：3 被引量：6H指数：1
- 供职机构：华中科技大学机械科学与工程学院数字制造与装备技术国家重点实验室更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：生物学机械工程电子电信更多>>
- 仿Morpho蝴蝶鳞翅微纳结构的光学特性研究被引量：1
- 2010年
- Morpho蝴蝶鳞翅上的微纳结构对光产生干涉、衍射等效应,形成典型的结构色现象.本文针对仿Morpho蝴蝶鳞翅微纳结构进行二维建模,结合严格耦合波理论进行光学特性仿真分析,研究了模型结构参数、环境折射率等对光学特性的影响及反射光谱曲线的变化规律.增大二维模型纵向周期高度,反射光谱峰值反射率增加,且峰值波长向较大方向偏移;减小纵向周期数,峰值显著下降,波峰变宽,峰值波长也向较大一侧偏移;增大横向周期宽度,峰值略有下降,峰值波长也向波长较大一侧偏移,但整体变化不大;改变环境氛围,即增大环境折射率,峰值亦大幅下降,峰值波长向波长较大一侧明显偏移.上述结论揭示了Morpho蝴蝶所特有的结构色本质,对于具有环境气氛检测功能的仿生微纳结构的设计优化和制造、应用具有重要意义.
- 廖广兰左海波曹艳波史铁林
- 关键词：严格耦合波理论
- 基于SVM的刻蚀工艺失效状态识别被引量：1
- 2011年
- 针对反应离子刻蚀工艺,研究其状态监测与识别.采用主元分析(PCA)方法对原始数据进行降维,提取出有效的特征子集,再应用SVM建立失效状态的诊断识别模型,分析模型参数对失效状态的分类识别效果.采用主元分析法进行数据降维,从多监控量中提取影响最大的特征子集,再基于支持向量机(SVM)算法建立了失效状态的诊断识别模型,并分析了模型参数对失效状态的分类识别效果.研究结果验证了基于SVM方法的有效性,表明该模型具有高效的模式识别能力,可应用于存在小样本问题的其他半导体工艺状态分类和识别中.
- 高阳廖广兰曹艳波史铁林
- 关键词：刻蚀工艺主元分析支持向量机模式识别
- 闪蝶鳞翅微纳结构光学特性仿真与实验研究
- 蝴蝶鳞片微纳结构的颜色作为一种特殊的物理现象，引起了众多研究人员的关注，其形成机理及应用研究是涉及光学、物理化学、生物学、材料科学、工程学等领域的多学科交叉课题，一直是国际上研究的前沿和热点。
本文对四种典型结构色...
- 曹艳波
- 关键词：衍射光栅仿生学
- 文献传递
