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闫坤
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
供职机构:
三束材料改性国家重点实验室
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相关领域:
金属学及工艺
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合作作者
任春生
三束材料改性国家重点实验室
郭宝海
三束材料改性国家重点实验室
张庆瑜
三束材料改性国家重点实验室
龙振湖
三束材料改性国家重点实验室
李有宏
三束材料改性国家重点实验室
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任春生
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大连理工大学...
年份
1篇
1995
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动态混合高结合力超厚TiN膜
被引量:1
1995年
在新型的MBMI多束混合注入设备中、高真空条件下,在Ti6Al4V基底上采用化学配比态的强流N ̄+离子束,动态混合真空弧Ti等离子体束的沉积膜,得到高结合力(L_c:100N)超厚(10~30μm)的TiN膜。
龙振湖
任春生
闫坤
郭宝海
李有宏
张庆瑜
薛恒春
潘曼云
关键词:
等离子体
离子注入
氮化钛
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