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尹东辉

作品数：1 被引量：2H指数：1
供职机构：中国科学技术大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇汽相沉积
  • 1篇金刚石薄膜
  • 1篇金刚石膜
  • 1篇化学汽相沉积

机构

  • 1篇中国科学技术...

作者

  • 1篇汪学毅
  • 1篇项志遴
  • 1篇詹如娟
  • 1篇尹东辉

传媒

  • 1篇人工晶体学报

年份

  • 1篇1993
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
金刚石薄膜的合成及相应的等离子体状态被引量：2
1993年
本文报道了用热阴极直流辉光放电等离子体化学气相沉积(PCVD)方法,在单晶硅和石英玻璃基片上合成金刚石薄膜的结果。采用 X 射线衍射、Raman 散射、扫描电子显微镜和傅利叶变换红外光谱测定了合成膜的性能。初步探讨了合成金刚石条件下等离子体的状态,利用朗缪尔探针诊断了在金刚石生长条件下等离子体的电子温度和密度。
詹如娟江习承汪学毅尹东辉项志遴
关键词：化学汽相沉积金刚石膜
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共1页<1>
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