孙健
- 作品数:4 被引量:11H指数:2
- 供职机构:兰州空间技术物理研究所更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金国家重大科学仪器设备开发专项国家杰出青年科学基金更多>>
- 相关领域:一般工业技术更多>>
- 碳纳米管阴极电离真空计研制及其性能研究被引量:6
- 2017年
- 碳纳米管阴极电离真空计在超高/极高真空测量中具有广阔应用前景,基于碳纳米管阴极研制了测量范围10-9~10-4Pa的电离真空计,真空规管包括了碳纳米管阴极、门极、阳极、反射极和收集极,电路控制系统由高压电源、微弱离子流测量和控制电路组成。实验研究结果表明,不锈钢衬底上直接生长制备的碳纳米管阴极性能良好,开启场强和阈值场强分别为1.9 V/μm和3.9 V/μm,当阳极电流为42μA时,碳纳米管阴极电离真空计本底干扰可降低到1.81×10-9Pa。
- 张虎忠成永军王永军孙健习振华李得天
- 关键词:真空测量电离真空计碳纳米管阴极场发射
- 限流元件流导测量技术研究进展被引量:2
- 2017年
- 在真空技术应用中,限流元件流导主要用于气体微流量计微小气体流量的产生、提供真空室动态标准压力及真空漏孔的校准。目前测量限流元件流导的方法主要有恒压法、定容法、流量比较法、线性规法、升压法。文章介绍了国内外测量限流元件流导的常用方法,列举了各种测量方法的适用范围和限制因素,并对比不同测量方法的特点。
- 张琦李得天杨长青成永军赵澜吉康孙健
- 关键词:计量学气体微流量计测量方法
- 空间磁偏转质谱计校准装置设计及校准方法研究被引量:4
- 2016年
- 为确保磁偏转质谱计空间探测应用测量数据的准确性,设计了一套校准装置对磁偏转质谱计进行地面校准。本文介绍了装置的结构设计,并根据校准装置和磁偏转质谱计自身的特点,提出了二种校准方法,分别为:分压力测量法和标样气体法。研究表明,校准装置的极限真空度可达到5×10^(-8)Pa,二种校准方法对应不同的校准范围,可将质谱计的校准下限延伸至10^(-8)Pa,比国内目前已报道的质谱计的校准下限低1~2个量级。
- 董猛成永军李得天孙雯君郭美如赵澜张瑞芳吉康孙健
- 关键词:校准装置校准方法
- 极高真空测量中微小离子流检测技术研究被引量:1
- 2016年
- 为解决极高真空测量中电离真空计微小离子流的检测难题,设计采用精密运算放大器组成电流电压转换结构,配合低通滤波、零点调节以及相位补偿等技术,实现了10^(-14)A微小离子流的准确检测。通过与国内外不同型号电离真空计进行试验测试,验证了该设计电路能够准确检测10^(-9)Pa极高真空下的电离真空计离子流,为实现极高真空测量设备国产化提供了技术参考。
- 孙健李得天王永军张虎忠张琦
- 关键词:极高真空