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三元合金Cu＿（76）Ni＿（15）Sn＿9的离子溅射研究被引量：2: 1994年; 在２７ｋｅＶＡｒ＿＋离子轰击时，用收集膜技术结合俄歇谱仪（ＡＥＳ），研究了三元合金Ｃｕ＿（７６）Ｎｉ＿（１５）Ｓｎ＿９系统的择优溅射行为。同时使用扫描电子显微镜（ＳＥＭ）与电子探针微分析（ＥＰＭＡ）．观察了靶点表面形貌变化并测定了形貌特征微区的合金组份原子的相对百分浓度。结果表明，Ｃｕ原子较Ｎｉ原子、Ｎｉ原子较Ｓｎ原子，在所测定范围（０─６０°）内择优发射。最后讨论了靶点表面形貌特征和“元素局域富集”现象对择优溅射过程的影响。; 王震遐潘冀生章骥平王传珊李欣年周树鑫罗文芸张慧明曾跃武赵烈; 关键词：离子溅射 AES EPMA

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周树鑫