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赵佩云

作品数：1 被引量：2H指数：1
供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇电子束曝光
  • 1篇电子束曝光机
  • 1篇透镜
  • 1篇曝光机
  • 1篇微电子
  • 1篇面形
  • 1篇面形测量

机构

  • 1篇中国科学院

作者

  • 1篇刘业异
  • 1篇杨中山
  • 1篇姚汉民
  • 1篇赵佩云

传媒

  • 1篇光电工程

年份

  • 1篇1994
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
国际微电子专用关键设备的现状和发展趋势（考察报告）被引量：2
1994年
讲述了参观Ｓｅｍｉｃｏｎ／ｗｅｓｔ９４′展览会及考察美国和西德的５个公司、１所大学所了解到的投影光刻技术、电子束曝光技术、透镜面形测试技术的发展。
姚汉民刘业异赵佩云杨中山
关键词：电子束曝光机面形测量透镜
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共1页<1>
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