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黄凯

作品数：113 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文基金：上海市浦江人才计划项目更多>>
相关领域：电子电信金属学及工艺一般工业技术理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 108篇专利
  • 4篇会议论文
  • 1篇期刊文章

领域

  • 38篇电子电信
  • 6篇金属学及工艺
  • 3篇一般工业技术
  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇文化科学
  • 1篇理学

主题

  • 48篇衬底
  • 47篇缺陷层
  • 36篇键合
  • 27篇单晶
  • 20篇压电
  • 19篇压电薄膜
  • 19篇退火
  • 17篇晶圆
  • 15篇热应力
  • 15篇谐振器
  • 14篇单晶薄膜
  • 11篇损伤层
  • 10篇声表面波
  • 9篇退火处理
  • 9篇半导体
  • 8篇弹性波
  • 8篇离子
  • 8篇滤波器
  • 7篇碳化硅
  • 7篇离子注入

机构

  • 113篇中国科学院
  • 2篇中国科学院大...

作者

  • 113篇黄凯
  • 112篇欧欣
  • 47篇王曦
  • 47篇游天桂
  • 13篇贾棋
  • 4篇黄浩
  • 3篇龚谦
  • 2篇王庶民
  • 2篇潘文武

传媒

  • 1篇半导体技术

年份

  • 3篇2023
  • 1篇2022
  • 31篇2021
  • 42篇2020
  • 16篇2019
  • 5篇2018
  • 9篇2017
  • 5篇2016
  • 1篇2015
共 113 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种用于制造支撑衬底上的单晶材料薄层结构的方法
本发明提供一种用于制造支撑衬底上的单晶材料薄层结构的方法，包括：提供单晶衬底，以所述单晶衬底的一表面为注入面，在所述单晶衬底内进行第一类型离子及第二类型离子的共注入，以在所述单晶衬底的预设深度形成缺陷层；提供支撑衬底，使...
欧欣黄凯贾棋游天桂王曦
文献传递
硅锗界面热应力的控制及晶圆级GeOI的制备
2018年
智能剥离技术是制备绝缘体上锗（GeOI）衬底的常用方法。然而,由于锗与硅之间的热膨胀系数相差较大,硅锗键合界面较大的热应力可能导致键合对裂片或者解键合。通过对硅锗异质键合对的热应力问题进行理论分析,建立了硅锗双平板热应力模型。提出4种抑制热应力的实验方案,并得出优化退火条件是解决热应力问题最有效的办法。采用智能剥离技术在优化退火条件下成功制备了4英寸（1英寸=2.54 cm）晶圆级GeOI衬底,转移的锗薄膜厚度偏差小于2%,均方根表面粗糙度低至0.42 nm,喇曼光谱显示转移的锗薄膜内残余应力较小,制备的GeOI衬底可以为后续高迁移率器件制备或硅基Ⅲ-Ⅴ族异质集成提供材料平台。
张润春黄凯林家杰鄢有泉伊艾伦周民游天桂游天桂
关键词：热应力
硅基InP晶圆级异质集成
林家杰黄凯张润春贾棋张师斌游天桂欧欣
一种临时键合和解键合方法、载片结构及应用
本申请提供一种临时键合方法，包括：提供临时载片，临时载片采用热释电材料制得；将绝缘层的第一表面覆于临时载片上；对绝缘层的第二表面进行平坦化处理，第二表面远离第一表面；对半导体晶圆片与经平坦化处理后的绝缘层的第二表面在第一...
欧欣李忠旭黄凯赵晓蒙李文琴鄢有泉陈阳
文献传递
一种1550nm波段单光子源的制备方法及单光子源和光学器件
本发明公开了一种1550nm波段单光子源的制备方法及单光子源和光学器件，本发明通过在SiC晶圆<0001>面制备氧化硅层；离子注入；沿氧化硅表面与另一带氧化硅介质层的SiC衬底键合；退火剥离，将SiC薄膜转移...
欧欣伊艾伦游天桂张加祥黄凯王曦
高频声波谐振器及其制备方法
本发明提供一种基于极低声阻部件的高频声波谐振器及其制备方法，高频声波谐振器的制备方法包括如下步骤：1)制备极低声阻部件；2)于所述极低声阻部件的上表面上形成压电膜；3)于所述压电膜的上表面形成图案化上电极。本发明的高频声...
欧欣周鸿燕张师斌李忠旭黄凯赵晓蒙
可调控电磁波吸收的超材料晶体结构及其制备方法
本发明提供一种可调控电磁波吸收的超材料晶体结构及制备方法，制备包括：提供闪耀光栅衬底，表面形成有周期排布的锯齿状阵列结构，包括具有第一倾角的第一槽面及具有第二倾角的第二槽面；于闪耀光栅衬底上形成交替多层膜结构，包括若干个...
欧欣张师斌林家杰黄浩游天桂黄凯王曦
文献传递
异质结构的制备方法
本发明提供一种异质结构的制备方法，包括如下步骤：提供第一衬底，具有离子注入面；自离子注入面进行离子注入，以形成缺陷层；提供第二衬底，具有键合面，将键合面与离子注入面进行键合，得到初始键合结构；基于局部加热的方式对初始键合...
欧欣黄凯赵晓蒙李文琴鄢有泉李忠旭王曦
文献传递
一种可集成式中红外光探测器及其制备方法
本发明涉及一种可集成式中红外光探测器及其制备方法，所述探测器包括自下而上设置的：晶圆衬底；光隔离层；光波导层，光波导层刻蚀有包含光栅耦合器的无源光学器件结构，光栅耦合器正对金属下电极层；介质层，介质层沉积在所述光波导层之...
欧欣陈阳黄凯赵晓蒙鄢有泉李忠旭
文献传递
高频声波谐振器及其制备方法
本发明提供一种高频声波谐振器及其制备方法，高频声波谐振器至少包括：支撑衬底；位于所述支撑衬底上表面的图案化介质层；位于所述图案化介质层表面的压电膜；位于所述压电膜表面的图案化上电极。本发明的高频声波谐振器及其制备方法，通...
欧欣王成立张师斌周鸿燕黄凯
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