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彭鹏

作品数：5 被引量：8H指数：2
供职机构：电子科技大学机械电子工程学院更多>>
发文基金：国家自然科学基金中央高校基本科研业务费专项资金NSAF联合基金更多>>
相关领域：机械工程理学自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 5篇中文期刊文章

领域

  • 4篇机械工程
  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇理学

主题

  • 5篇加速度
  • 3篇微加速度计
  • 3篇加速度计
  • 2篇电容
  • 2篇电容式
  • 2篇速度传感器
  • 2篇漂移
  • 2篇温度漂移
  • 2篇加速度传感器
  • 2篇感器
  • 2篇传感
  • 2篇传感器
  • 1篇电容式加速度...
  • 1篇电容式微加速...
  • 1篇电压
  • 1篇英文
  • 1篇粘胶
  • 1篇输出电压
  • 1篇数对
  • 1篇硼掺杂

机构

  • 5篇电子科技大学
  • 2篇中国工程物理...

作者

  • 5篇于慧君
  • 5篇彭倍
  • 5篇周吴
  • 5篇彭鹏
  • 4篇曲昊
  • 2篇何晓平
  • 1篇李伦

传媒

  • 2篇仪表技术与传...
  • 1篇电子科技大学...
  • 1篇强激光与粒子...
  • 1篇中国科技论文

年份

  • 3篇2018
  • 2篇2016
共 5 条 记 录，以下是 1-5
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排序方式：
工艺误差对电容式微加速度计温度漂移的影响（英文）
2016年
利用有限元方法,仿真分析了深反应离子刻蚀工艺造成的折叠梁宽度误差对电容式微加速度计温度漂移的影响。在存在工艺误差和保证微加速度计灵敏度恒定的前提下,增大了折叠梁设计宽度,计算了不同宽度下微加速度计的温度漂移量。结果表明:刻蚀工艺误差越大,微加速度计温度漂移量越大。折叠梁设计宽度为4.5μm和6.5μm时,最大温度漂移量分别为2.42mg/℃和1.71mg/℃,因此通过适当地增大设计尺寸,可以有效地减小微加速度计的温度漂移量。
彭鹏彭倍周吴于慧君曲昊何晓平
关键词：电容式微加速度计温度漂移
运算放大器频率特性对加速度传感器检测电路的影响分析被引量：1
2018年
为分析运算放大器频率特性对加速度传感器检测电路实际性能产生的影响,提出了一种分析电路参数对运算放大器实际性能产生影响的研究方法。本研究建立了加速度传感器检测电路等效模型,分析了电路参数对运算放大器频率特性产生的影响。为验证理论分析,文中根据运算放大器的具体参数,选择合适的电路参数,设计了一个用于加速度传感器的检测电路,检测电路的实验结果与理论设计相符合。理论分析与实验结果表明,合理选择电路参数可以使运算放大器工作于理想状态,减小运算放大器频率特性对检测电路实际性能的影响。
曲昊彭倍彭鹏周吴于慧君
关键词：机械工程机械制造及其自动化微机电系统
寄生电容对电容式加速度传感器输出电压的影响被引量：5
2018年
电容检测是保证电容式加速度传感器正常工作的重要条件之一。传感器中敏感结构间的寄生电容会对电容检测产生影响。文中建立了传感器敏感结构的等效模型,分析了寄生电容对输出电压产生的影响。文中首先分析了电容式加速度传感器中检测电路的工作原理。其次,根据敏感结构的组成分析待测电容以及寄生电容的分布情况,以及寄生电容对电容检测结果的影响。最后,通过实验验证理论分析的结果。
曲昊彭倍彭鹏周吴于慧君
关键词：MEMS寄生电容
硼掺杂硅翘曲对微加速度计灵敏度的影响
2016年
研究了硼掺杂引起的结构翘曲量对微加速度计性能的影响,获取指导微加速度计设计更为准确的物理模型。通过解析计算,结合有限元仿真及实验等方法,研究了不同硼扩散深度对微加速度计灵敏度的影响,得出了不同掺杂状态下微加速度计灵敏度与结构翘曲量之间的关系表达式。理论分析与测试结果表明,考虑翘曲变形的微加速度计的灵敏度比无翘曲时的微加速度计灵敏度减小了约5 m V/g,而当硼扩散深度从90μm变化到120μm时,灵敏度变化量约为2 m V/g。硼掺杂引起的翘曲变形使微加速度计的灵敏度降低,且随着扩散深度增加,灵敏度增大。
彭倍周吴李伦于慧君彭鹏何晓平
关键词：硼掺杂翘曲微加速度计灵敏度
粘胶材料参数对微加速度计零位温度漂移的影响研究被引量：2
2018年
粘胶材料常用于实现微加速度计芯片与基底的粘接。为了研究粘胶材料参数对微加速度计零位温度稳定性的影响,首先根据微加速度计理论输出模型,分析了影响零位温度漂移的关键变形。其次,基于典型的芯片-粘胶-基底热变形解析模型,研究了粘胶的弹性模量、热膨胀系数和厚度对该变形的影响,并且理论计算了在常用材料参数范围内,微加速度计的零位温度漂移量。研究表明,弹性模量对零位温漂影响最大,采用软胶(弹性模量小)粘贴能够有效地提高微加速度计的温度稳定性。最后,利用2种粘胶分别粘贴微加速度计,通过比较这2类微加速度计的温漂测试结果,实验验证了结论的正确性。
彭鹏彭倍周吴于慧君曲昊
关键词：粘胶微加速度计温度漂移
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