张恒
- 作品数：20 被引量：22H指数：3
- 供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金上海市自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信理学机械工程更多>>
- 基于变量分离分解法的极紫外光刻三维掩模快速仿真方法被引量：2
- 2017年
- 提出了一种基于分离变量法的极紫外光刻三维掩模衍射谱快速仿真方法,在保证一定仿真精度的前提下提高了仿真速度。该方法将三维掩模分解为2个相互垂直的二维掩模,对2个二维掩模采用严格电磁场方法进行衍射谱仿真并将结果相乘以重构成三维衍射谱。以6°主入射角、45°线偏振光照明及22nm三维方形接触孔掩模为例,在入射光方位角0°~90°变化范围内,相同仿真参数下,该方法的仿真结果与商用光刻仿真软件Dr.LiTHO的严格仿真结果相比,图形特征尺寸误差小于0.21nm,仿真速度提高约65倍。在上述参数下,该方法与Dr.LiTHO的域分解方法及基于掩模结构分解法等快速方法相比,仿真精度和速度均提高1倍以上。该模型无需参数标定,适用于矩形图形的三维掩模快速仿真。
- 张恒李思坤王向朝
- 关键词：衍射极紫外光刻
- 基于分离变量法的极紫外光刻三维掩模快速仿真方法
- <正>极紫外光刻被认为是最有前景的下一代光刻技术。光刻仿真是极紫外光刻机相关技术研发的重要工具。掩模仿真是光刻仿真的重要组成部分,通过掩模仿真可得到掩模衍射场分布,进而研究掩模衍射对成像质量的影响,最终得到可以预期实际效...
- 张恒王向朝李思坤
- 文献传递
- 基于Ptychography的极紫外光刻投影物镜波像差检测技术被引量：1
- 2016年
- Ptychography是一种基于扫描式相干衍射成像的相位恢复技术,实验装置简单,抗干扰能力强。将Ptychography技术用于投影物镜波像差的检测,并分析了检测不同数值孔径投影物镜波像差所采用的光场传播公式、离散化条件及实验架构。数值仿真与实验结果表明,Ptychography技术用于波像差检测时检测标记的通光率需要在45%~80%范围内;增加标记图案的复杂性并在计算过程中增加配准环节可提高收敛速度与检测精度;波像差检测精度在10^(-3)λ以内。将Ptychography技术应用于极紫外光刻投影物镜波像差检测是可行的。
- 方伟唐锋王向朝朱鹏辉李杰孟泽江张恒
- 关键词：极紫外光刻PTYCHOGRAPHYPIE相位恢复投影物镜
- 极紫外光刻含相位型缺陷接触孔掩模衍射谱的快速仿真方法
- 一种极紫外光刻含相位型缺陷接触孔掩模衍射谱的快速仿真方法,所述方法将吸收层通过薄掩模近似法建模,将含相位型缺陷多层膜等效为一个双层回转椭球与无缺陷多层膜两部分组合的结构，并分别通过米散射理论和等效膜层法对双层回转椭球和无...
- 管文超王向朝李思坤张恒
- 文献传递
- 极紫外光刻掩模多层膜相位型缺陷底部形貌检测方法
- 一种极紫外光刻掩模多层膜相位型缺陷底部形貌检测方法。该方法包括建模和检测两部分。在建模阶段，首先利用光刻仿真软件仿真含多层膜相位型缺陷的空白掩模在不同照明条件下的空间像。然后采用傅里叶扫描相干衍射成像技术(Fourier...
- 成维李思坤王向朝张恒孟泽江
- 文献传递
- 基于交替相移掩模矢量空间像的偏振像差检测方法被引量：2
- 2016年
- 提出一种基于交替相移掩模空间像的光刻机投影物镜偏振像差检测方法。采用泡利-泽尼克系数表征偏振像差,结合X和Y两种线性偏振照明方式,用像传感器测量不同照明条件下掩模空间像的成像位置偏移与最佳焦面偏移,利用标定的偏振像差灵敏度矩阵计算获得泡利-泽尼克系数。采用光刻仿真软件对本文方法的有效性进行了验证,结果表明其检测精度优于3.07 mλ。
- 沈丽娜王向朝李思坤闫观勇诸波尔孟泽江张恒
- 关键词：成像系统光学制造光刻
- 极紫外光刻含相位型缺陷接触孔掩模衍射谱的快速仿真方法
- 一种极紫外光刻含相位型缺陷接触孔掩模衍射谱的快速仿真方法,所述方法将吸收层通过薄掩模近似法建模,将含相位型缺陷多层膜等效为一个双层回转椭球与无缺陷多层膜两部分组合的结构，并分别通过米散射理论和等效膜层法对双层回转椭球和无...
- 管文超王向朝李思坤张恒
- 文献传递
- 基于机器学习参数校正的极紫外光刻三维含缺陷掩模仿真方法
- <正>极紫外光刻机目前已被用于7nm及以下节点的芯片制造工艺的研发。极紫外光刻掩模中的缺陷会降低成像质量,是影响光刻良率的主要问题之一。目前尚难实现无缺陷掩模的批量制备,通常采用缺陷修复、补偿等技术以降低或消除其对成像的...
- 张恒李思坤王向朝
- 文献传递
- 基于多偏振照明的光刻投影物镜高阶波像差检测方法
- 一种基于多偏振照明的光刻投影物镜高阶波像差检测方法，本方法分为快速建模和像差提取两部分，快速建模部分首先设定投影物镜的偏振像差以及数值孔径等参数，然后分别在不同偏振照明方式下采用一元线性采样方式仿真空间像，并对仿真空间像...
- 诸波尔李思坤王向朝张恒孟泽江步扬
- 文献传递
- 基于快速建模的大数值孔径光刻投影物镜波像差检测方法
- 一种基于快速建模的大数值孔径光刻投影物镜波像差检测方法，分为快速建模和像差提取两阶段，快速建模阶段先设定光的偏振态、投影物镜的偏振像差以及数值孔径等参数，采用一元线性采样方法仿真空间像，对仿真空间像进行主成分分析和多元线...
- 诸波尔李思坤王向朝闫观勇沈丽娜孟泽江张恒
- 文献传递
