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吴凯峰

作品数：5 被引量：0H指数：0
供职机构：上海交通大学更多>>
相关领域：航空宇航科学技术自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 4篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇航空宇航科学...

主题

  • 3篇图形化
  • 3篇子层
  • 3篇干膜
  • 2篇旋涂
  • 2篇掩膜
  • 2篇掩膜板
  • 2篇基片
  • 2篇溅射
  • 2篇光刻
  • 2篇硅基
  • 1篇电偶
  • 1篇曲面
  • 1篇热电偶
  • 1篇显影
  • 1篇金属膜
  • 1篇光刻胶
  • 1篇薄膜热电偶
  • 1篇MEMS工艺
  • 1篇MEMS技术

机构

  • 5篇上海交通大学

作者

  • 5篇吴凯峰
  • 4篇丁桂甫
  • 4篇汪红
  • 4篇王慧颖
  • 2篇罗江波
  • 2篇戴旭涵
  • 2篇孙云娜
  • 2篇张亚舟

年份

  • 1篇2019
  • 1篇2018
  • 1篇2017
  • 1篇2016
  • 1篇2015
共 5 条 记 录，以下是 1-5
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排序方式：
基于MEMS工艺的曲面图形化转移及曲面传感器的研究
随着国产商业大飞机C919的成功下线,我国在航空发动机自主研发上迈向更高层次的技术水平。在航空发动机引擎运行中,需要监测和获取叶片的实时温度,即需要在曲面叶片上,制造薄膜热电偶传感器。传统传感器制作加工是在平面上进行的。...
吴凯峰
关键词：MEMS技术薄膜热电偶
文献传递
一种用于曲面图形化的柔性掩膜板制备方法
本发明公开一种用于曲面图形化的柔性掩膜板的制备方法，步骤：将基片表面预处理；在基片表面贴上干膜；在干膜上溅射一层Cr/Cu种子层；电镀Ni金属膜于基片种子层上；NaOH溶液中浸泡，超声处理释放Ni金属膜；Ni金属掩膜固定...
吴凯峰戴旭涵汪红王慧颖丁桂甫
文献传递
一种用于曲面图形化的柔性掩膜板制备方法
本发明公开一种用于曲面图形化的柔性掩膜板的制备方法，步骤：将基片表面预处理；在基片表面贴上干膜；在干膜上溅射一层Cr/Cu种子层；电镀Ni金属膜于基片种子层上；NaOH溶液中浸泡，超声处理释放Ni金属膜；Ni金属掩膜固定...
吴凯峰戴旭涵汪红王慧颖丁桂甫
文献传递
一种高效制备硅转接板的方法
本发明公开一种高效制备硅基转接板的方法，步骤：1)旋涂光刻胶、光刻、显影；2)刻蚀；3)氧化；4)溅射Ti/Cu等种子层；5)键合干膜光刻胶、光刻、显影；6)填充TSV；7)去胶、种子层，制备的Cu‑TSV与Cu‑Pad...
丁桂甫张亚舟孙云娜汪红吴凯峰王慧颖罗江波
文献传递
一种高效制备硅转接板的方法
本发明公开一种高效制备硅基转接板的方法，步骤：1)旋涂光刻胶、光刻、显影；2)刻蚀；3)氧化；4)溅射Ti/Cu等种子层；5)键合干膜光刻胶、光刻、显影；6)填充TSV；7)去胶、种子层，制备的Cu-TSV与Cu-Pad...
丁桂甫张亚舟孙云娜汪红吴凯峰王慧颖罗江波
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