孙华山
- 作品数：1 被引量：4H指数：1
- 供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
- 发文基金：中国科学院“百人计划”国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- Au电极厚度对MgZnO紫外探测器性能的影响被引量：4
- 2015年
- 利用分子束外延设备(MBE)制备了MgZnO薄膜。X射线衍射谱、紫外-可见透射光谱和X射线能谱表明薄膜具有单一六角相结构,吸收边为340 nm,Zn/Mg组分比为62∶38。采用掩膜方法使用离子溅射设备,在MgZnO薄膜上制备了Au电极,并实现了Au-MgZnO-Au结构的紫外探测器。通过改变溅射时间,得到具有不同Au电极厚度的MgZnO紫外探测器。研究结果表明:随着Au电极厚度的增加,导电性先缓慢增加,再迅速增加,最后缓慢增加并趋于饱和;而Au电极的透光率则随厚度的增加呈线性下降。此外,随着Au电极厚度的增加,器件光响应度先逐渐增大,在Au电极厚度为28 nm时达到峰值,之后逐渐减小。
- 孙华山刘可为陈洪宇范明明陈星李炳辉申德振
- 关键词：MGZNO紫外探测器AU电极厚度
