王占鹏
- 作品数：5 被引量：3H指数：2
- 供职机构：长春理工大学机电工程学院更多>>
- 发文基金：吉林省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程更多>>
- 中阶梯衍射光栅厚铝膜硬度研究被引量：2
- 2018年
- 铝薄膜硬度对机械刻制中阶梯母光栅质量影响显著,常采用纳米压入方法进行硬度测试。由于薄膜"三明治"式复合结构,进一步增加薄膜硬度表征的困难。为探究光栅厚铝薄膜的硬度特性,对其做浅压深和大压深纳米压痕实验,基于Nix-Gao模型和压痕功法,进行实验数据拟合与分析。结果显示,衍射光栅铝膜的本征硬度为0.480 6 GPa,浅压深拟合得到的尺度效应特征长度为0.38μm,大压深拟合得到的尺度效应长度为2.22μm,此研究揭示出基底存在尺度效应,为中阶梯衍射光栅厚铝膜的硬度研究提供参考和指导。
- 张宝庆张宝庆王占鹏
- 关键词：衍射光栅铝膜基底
- 残余应力与基底效应对光栅厚铝膜纳米压痕耦合影响研究被引量：2
- 2018年
- 机刻中阶梯衍射光栅厚铝膜通过真空蒸镀方法获得,其内部存在残余应力,与基底效应耦合作用,增加纳米压入测试与刻划成槽模拟仿真的研究难度。为此,基于材料变形弹塑性接触理论和量纲分析方法,建立具有内部残余应力的光栅厚铝膜模型,研究内部残余应力与基底效应耦合作用对纳米压痕硬度与隆起高度的影响规律。结果显示,随着薄膜内部残余应力变大,铝膜载荷和表面隆起高度减小;受基底效应耦合影响,其二者变化趋势逐渐增大。此研究为机刻衍射光栅厚铝膜力学性能纳米压入测试及刻划成槽研究提供重要参考。
- 张宝庆张宝庆王占鹏韦赟杰孙立华高劲松
- 关键词：残余应力纳米压痕衍射光栅
- 基于表面张力束缚的液体透镜高速变焦系统
- 本发明公开了一种基于表面张力束缚的液体透镜高速变焦系统，它包含音圈电机(1)、导轨(2)、注射器(3)、流量计(4)、微圆柱腔(5)、光学检测系统(6)和控制系统(7)，所述的导轨(2)包含导轨定轨(8)和导轨动轨(9)...
- 石广丰史国权徐远哲李建军王占鹏
- 文献传递
- 衍射光栅铝膜纳米压痕基底效应有限元模拟研究被引量：1
- 2017年
- 为探究衍射光栅铝膜基底效应对纳米压痕过程的影响,基于ABAQUS有限元分析软件,采用对比分析的方法,建立有基底铝膜和无基底铝膜模型,模拟纳米压痕的压入过程。结果表明,当出现基底效应后,有基底铝膜的回弹量比无基底铝膜小,隆起高度先比无基底铝膜小,之后大,载荷比无基底铝膜大,且基底效应逐渐变大。通过分析铝膜中基底效应对纳米压痕过程的影响,为衍射光栅铝膜力学性能研究提供了重要参考。
- 张宝庆王占鹏张安坤郑志涛石广丰
- 关键词：有限元分析
- 机刻光栅铝薄膜纳观沉积模拟分析及其刻划研究
- 机械刻划光栅属于超精密加工领域，是由刻划机在厚铝薄膜（10-15μm）毛坯上刻划出大量具有周期性的凹槽制备而成。铝薄膜采用真空蒸镀方法获得，79g/mm中阶梯衍射光栅的刻深在3-5μm之间。受真空镀制工艺影响，铝薄膜沉积...
- 王占鹏
- 关键词：力学性能
