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陈健
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2
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供职机构:
东南大学电子科学与工程学院
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相关领域:
自动化与计算机技术
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合作作者
张家慰
东南大学电子科学与工程学院
林海安
东南大学电子科学与工程学院
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2013年全...
年份
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2013
1篇
1993
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新型SOG压阻式力敏传感器的研制
1993年
本文介绍一种以玻璃作绝缘介质膜的SOG压力传感器,探讨了实现SOG材料良好键合的关键工艺,研究了以腐蚀自致停技术为核心的减薄成膜方法.结果表明,SOG传感器在高温、大压力方面颇具潜力.
林海安
张家慰
陈健
黄明程
关键词:
压力传感器
键合工艺
基于体硅外延工艺的600V浮栅驱动芯片
本文基于600V体硅外延BCD工艺,完成了一款浮栅驱动芯片的设计。为了增强隔离结构的可靠性,本文提出了一种新型的P型阱、N型阱交替排列的隔离结构,该隔离结构耐压为740V,相对于传统结构增加了7%,当LDMOS漏端电位大...
陈健
祝靖
张允武
孙伟锋
顾力晖
张森
关键词:
体硅
抗噪声
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