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陈健

作品数:2 被引量:0H指数:0
供职机构:东南大学电子科学与工程学院更多>>
相关领域:自动化与计算机技术更多>>

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇压力传感器
  • 1篇压阻
  • 1篇压阻式
  • 1篇噪声
  • 1篇体硅
  • 1篇驱动芯片
  • 1篇芯片
  • 1篇力传感器
  • 1篇力敏传感器
  • 1篇抗噪
  • 1篇抗噪声
  • 1篇键合
  • 1篇键合工艺
  • 1篇浮栅
  • 1篇感器
  • 1篇传感
  • 1篇传感器

机构

  • 2篇东南大学

作者

  • 2篇陈健
  • 1篇林海安
  • 1篇张家慰

传媒

  • 1篇传感技术学报
  • 1篇2013年全...

年份

  • 1篇2013
  • 1篇1993
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
新型SOG压阻式力敏传感器的研制
1993年
本文介绍一种以玻璃作绝缘介质膜的SOG压力传感器,探讨了实现SOG材料良好键合的关键工艺,研究了以腐蚀自致停技术为核心的减薄成膜方法.结果表明,SOG传感器在高温、大压力方面颇具潜力.
林海安张家慰陈健黄明程
关键词:压力传感器键合工艺
基于体硅外延工艺的600V浮栅驱动芯片
本文基于600V体硅外延BCD工艺,完成了一款浮栅驱动芯片的设计。为了增强隔离结构的可靠性,本文提出了一种新型的P型阱、N型阱交替排列的隔离结构,该隔离结构耐压为740V,相对于传统结构增加了7%,当LDMOS漏端电位大...
陈健祝靖张允武孙伟锋顾力晖张森
关键词:体硅抗噪声
共1页<1>
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