您的位置： 专家智库 > >

刘炎

作品数：69 被引量：0H指数：0
供职机构：武汉大学更多>>
发文基金：国家教育部博士点基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术一般工业技术环境科学与工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 67篇专利
  • 2篇学位论文

领域

  • 23篇电子电信
  • 8篇自动化与计算...
  • 2篇一般工业技术
  • 1篇机械工程
  • 1篇环境科学与工...
  • 1篇理学

主题

  • 34篇谐振器
  • 29篇压电
  • 23篇体声波
  • 21篇体声波谐振器
  • 16篇电极
  • 16篇压电层
  • 15篇薄膜体声波谐...
  • 14篇感器
  • 14篇传感
  • 14篇传感器
  • 8篇底电极
  • 8篇滤波器
  • 7篇压电材料
  • 7篇声表面波
  • 7篇机电耦合系数
  • 7篇加速度
  • 7篇加速度计
  • 6篇压电式
  • 5篇单片
  • 5篇单片集成

机构

  • 69篇武汉大学

作者

  • 69篇刘炎
  • 67篇孙成亮
  • 43篇蔡耀
  • 36篇邹杨
  • 30篇高超
  • 18篇周杰
  • 17篇刘文娟
  • 10篇刘婕妤
  • 10篇国世上
  • 5篇王瑶
  • 4篇陈祥
  • 3篇朱伟
  • 2篇曾敏
  • 1篇刘胜
  • 1篇王磊
  • 1篇胡少华

年份

  • 5篇2024
  • 9篇2023
  • 14篇2022
  • 14篇2021
  • 17篇2020
  • 8篇2019
  • 1篇2018
  • 1篇2011
共 69 条 记 录，以下是 1-10
全选 清除 导出
排序方式：
高灵敏度传感器及其制备方法
本发明提供了一种高灵敏度传感器及其制备方法。本发明提供的高灵敏度传感器，其特征在于，包括：衬底，内部具有密闭的空腔，该空腔内充有惰性气体，且气压小于1atm；和谐振部，形成在衬底上，包括：底电极、压电中间层、和上电极或叉...
刘婕妤邹杨高超周杰胡博豪刘炎孙成亮
一种用声子晶体结构封装的薄膜体声波谐振器
本发明涉及谐振器技术，具体涉及一种用声子晶体结构封装的薄膜体声波谐振器，包括衬底、依次沉积在衬底上的压电振荡堆结构和封装盖帽结构；压电振荡堆结构包括底电极、压电材料薄膜层及顶电极；封装盖帽结构包括声子晶体层和第一基体。该...
孙成亮罗天成刘炎邹杨高超谢英徐沁文龙开祥
文献传递
基于声子晶体的薄膜体声波谐振器
本发明提供一种基于声子晶体的薄膜体声波谐振器，包括衬底；声子晶体层，声子晶体交叠沉积在衬底表面上，散射体周期排列在基体材料中，散射体的材料与基体不同；压电振荡堆层，由下至上包括底电极，压电材料薄膜和顶电极。本发明利用材料...
谢英孙成亮蔡耀王雅馨刘炎高超
文献传递
一种双轴压电式加速度计
本发明提供一种双轴压电式加速度计，本加速度计包括处于同一平面且同轴的大矩形框架和小矩形框架，小矩形框架内设有质量块；小矩形框架与质量块之间固定有四根长度相等相互对称的梁，大矩形框架与小矩形框架之间固定有四根长度相等相互对...
孙成亮王瑶刘炎温志伟杨超翔龙开祥曲远航
文献传递
谐振器及其制备方法
本发明提供了谐振器及其制备方法，能够有效地解决晶格失配问题，可以极大地提高谐振性能。本发明提供的谐振器，包括：衬底，形成有通孔，和从衬底的背部向着顶部延伸、并且贯穿衬底的凹槽；谐振结构，包括：形成在衬底顶面上的单晶氮化物...
孙成亮徐沁文刘炎蔡耀邹杨
文献传递
一种压电式加速度计
本发明涉及加速度计技术领域，公开了一种压电式加速度计，包括矩形框架，矩形框架内设置有质量块，质量块在一组互相平行的侧面上固定梁一、梁二、梁三和梁四；梁一和梁二互相对称且位于同一侧面，梁三和梁四互相对称且位于与梁一所在的侧...
刘炎孙成亮胡博豪高超邹杨
文献传递
光波导及微波光子测量和空气隙型结构的压力传感系统
本申请公开了光波导及微波光子测量和空气隙型结构的压力传感系统。该光波导位于硅基底上，所述光波导包括依次叠置的SiO<Sub>2</Sub>层、PMMA层和NOA层。光波导采用NOA‑PMMA‑SiO<Sub>2</Sub...
黎李汶娟孙成亮蔡耀胡少华许秉乾高超刘炎刘文娟
一种在布拉格反射层内集成无源电路的固态装配型谐振器
本发明公开了一种在布拉格反射层内集成无源电路的固态装配型谐振器。该固态装配型谐振器包括声波谐振器、布拉格反射层和无源电路器件。其中无源电路器件集成在布拉格反射层内，与谐振器通过金属化过孔的方式实现电气连接。本发明解决了现...
孙成亮王艺霖刘炎蔡耀刘文娟曲远航魏民丁嘉祺
柔性传感器的制造方法
本发明提供了一种柔性传感器的制造方法，该方法能够促使刻蚀顺利进行，并显著提高柔性传感器剥落的成功率。本发明涉及的柔性传感器的制造方法，特征在于，包括以下步骤：步骤1.在硅衬底上涂光刻胶，进行光刻，对硅衬底进行刻蚀，产生形...
高超孙成亮邹杨周杰刘炎刘婕妤胡博豪
文献传递
一种薄膜体声波谐振器及其制备方法
本发明公开了一种薄膜体声波谐振器及其制备方法，包括基底、空腔和压电堆叠结构；压电堆叠结构从下而上依次为底电极、压电材料层和顶电极；压电材料层由压电材料有效区域、压电材料外部区域、锚组成；压电材料有效区域小于空腔面积。压电...
孙成亮粘来霞蔡耀高超邹杨谢英刘炎周杰徐沁文
文献传递
全选 清除 导出
共7页<1234567>
聚类工具0